Вакуум каплау җиһазлары - вакуум мохитендә юка пленка урнаштыру технологиясенең бер төре, ул электроника, оптика, материаллар фәне, энергетика һ.б. өлкәләрдә киң кулланыла. Вакуум каплау җиһазлары, нигездә, түбәндәге өлешләрдән тора:
Вакуум камерасы: Бу вакуум каплау җиһазларының төп өлеше, анда барлык каплау процесслары башкарыла. Вакуум камерасы вакуум мохитенә чыдам булырга һәм яхшы герметиклыкны сакларга тиеш.
Вакуум насосы: Ул вакуум камерасы эчендәге һаваны сорып алу һәм вакуум мохите булдыру өчен кулланыла. Гадәти вакуум насосларына механик һәм молекуляр насослар керә.
Парга әйләнү чыганагы: Каплау материалын җылыту һәм парга әйләндерү өчен кулланыла. Парга әйләнү чыганагы каршылык белән җылыту, электрон нуры белән җылыту, лазер белән җылыту һ.б. булырга мөмкин.
Чүпләү рамкасы (Субстрат тотучы): капланачак субстратны урнаштыру өчен кулланыла. Каплауның тигезлеген тәэмин итү өчен субстрат тотучысын әйләндерергә яки күчерергә мөмкин.
Идарә итү системасы: каплау процессын тулысынча контрольдә тоту өчен кулланыла, шул исәптән вакуум насосын эшләтеп җибәрү һәм туктату, парга әйләндерү чыганагының температурасын контрольдә тоту һәм утыру тизлеген көйләү.
Үлчәү һәм күзәтү җиһазлары: Каплау процессындагы төп параметрларны реаль вакыт режимында күзәтү өчен кулланыла, мәсәлән, вакуум дәрәҗәсе, температура, утыру тизлеге һ.б.
Электр белән тәэмин итү системасы: вакуум каплау җиһазлары өчен кирәкле электр белән тәэмин итү.
Суыту системасы: җиһазларның нормаль эшләвен тәэмин итү өчен вакуум камерасын һәм башка җылылык чыгаручы компонентларны суыту өчен кулланыла.
Бу компонентларның нәтиҗәле координациясе вакуум каплау җиһазларына төрле сәнәгать һәм фәнни ихтыяҗларны канәгатьләндерү өчен пленканың калынлыгын, составын һәм структурасын төгәл контрольдә тотарга мөмкинлек бирә.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 27 июле