Vakuum örtük avadanlığı, elektronika, optika, materialşünaslıq, enerji və s. sahələrdə geniş istifadə olunan vakuum mühitində nazik təbəqə çökmə texnologiyasının bir növüdür. Vakuum örtük avadanlığı əsasən aşağıdakı hissələrdən ibarətdir:
Vakuum Kamerası: Bu, bütün örtük proseslərinin aparıldığı vakuum örtük avadanlığının əsas hissəsidir. Vakuum kamerası vakuum mühitinə davam gətirməli və yaxşı möhürlənməni təmin etməlidir.
Vakuum Pompası: Vakuum mühiti yaratmaq üçün vakuum kamerasının içərisindəki havanı çıxarmaq üçün istifadə olunur. Ümumi vakuum nasoslarına mexaniki və molekulyar nasoslar daxildir.
Buxarlanma mənbəyi: Örtük materialını qızdırmaq və buxarlandırmaq üçün istifadə olunur. Buxarlanma mənbəyi müqavimət istiliyi, elektron şüası istiliyi, lazer istiliyi və s. ola bilər.
Çökmə çərçivəsi (Substrat Tutucusu): örtüləcək substratı yerləşdirmək üçün istifadə olunur. Substrat tutucusu örtüyün vahidliyini təmin etmək üçün fırlana və ya hərəkət etdirilə bilər.
İdarəetmə Sistemi: Vakuum nasosunun işə salınması və dayandırılması, buxarlanma mənbəyinin temperaturunun idarə olunması və çökmə sürətinin tənzimlənməsi daxil olmaqla, bütün örtük prosesini idarə etmək üçün istifadə olunur.
Ölçmə və monitorinq avadanlığı: Örtük prosesindəki əsas parametrləri, məsələn, vakuum dərəcəsi, temperatur, çökmə sürəti və s. real vaxt rejimində izləmək üçün istifadə olunur.
Enerji təchizatı sistemi: vakuum örtük avadanlığı üçün tələb olunan enerjini təmin etmək.
Soyutma sistemi: avadanlığın normal işləməsini təmin etmək üçün vakuum kamerasını və digər istilik yaradan komponentləri soyutmaq üçün istifadə olunur.
Bu komponentlərin effektiv əlaqələndirilməsi vakuum örtük avadanlıqlarına müxtəlif sənaye və elmi ehtiyacları ödəmək üçün filmin qalınlığını, tərkibini və quruluşunu dəqiq şəkildə idarə etməyə imkan verir.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 27 iyul 2024