Вакуумдук каптоо жабдуулары - бул вакуумдук чөйрөдө жука пленка чөктүрүү технологиясынын бир түрү, ал электроника, оптика, материал таануу, энергетика жана башка тармактарда кеңири колдонулат. Вакуумдук каптоо жабдуулары негизинен төмөнкү бөлүктөрдөн турат:
Вакуумдук камера: Бул вакуумдук каптоо жабдууларынын негизги бөлүгү болуп саналат, анда бардык каптоо процесстери жүргүзүлөт. Вакуумдук камера вакуумдук чөйрөгө туруштук бере алышы жана жакшы герметикалуулукту сакташы керек.
Вакуум насосу: Ал вакуум камерасынын ичиндеги абаны сордуруп, вакуум чөйрөсүн түзүү үчүн колдонулат. Кеңири таралган вакуум насосторуна механикалык жана молекулярдык насостор кирет.
Буулануу булагы: каптоо материалын ысытуу жана бууландыруу үчүн колдонулат. Буулануу булагы каршылык менен ысытуу, электрондук нур менен ысытуу, лазер менен ысытуу жана башкалар болушу мүмкүн.
Чөкмө алкагы (Субстрат кармагыч): каптала турган субстратты жайгаштыруу үчүн колдонулат. Каптоонун бирдейлигин камсыз кылуу үчүн субстрат кармагычты айландырууга же жылдырууга болот.
Башкаруу системасы: Вакуумдук насосту ишке киргизүү жана токтотуу, буулануу булагынын температурасын көзөмөлдөө жана чөкмө ылдамдыгын жөнгө салуу сыяктуу каптоо процессин толугу менен башкаруу үчүн колдонулат.
Өлчөө жана көзөмөлдөөчү жабдуулар: каптоо процессиндеги негизги параметрлерди реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөө үчүн колдонулат, мисалы, вакуумдук даража, температура, чөкмө ылдамдыгы ж.б.
Электр менен камсыздоо системасы: вакуумдук каптоо жабдуулары үчүн керектүү кубаттуулукту камсыз кылуу.
Муздатуу системасы: жабдуулардын нормалдуу иштешин камсыз кылуу үчүн вакуумдук камераны жана башка жылуулук чыгаруучу компоненттерди муздатуу үчүн колдонулат.
Бул компоненттердин натыйжалуу координациясы вакуумдук каптоо жабдууларына ар кандай өнөр жайлык жана илимий муктаждыктарды канааттандыруу үчүн пленканын калыңдыгын, курамын жана түзүлүшүн так көзөмөлдөөгө мүмкүндүк берет.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 27-июлу