Таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ як навъ технологияи ҷойгиркунии плёнкаи тунук дар муҳити вакуумӣ буда, дар электроника, оптика, маводшиносӣ, энергетика ва ғайра васеъ истифода мешавад. Таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ асосан аз қисмҳои зерин иборат аст:
Камераи вакуумӣ: Ин қисми асосии таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ мебошад, ки дар он ҳамаи равандҳои пӯшонидани вакуумӣ анҷом дода мешаванд. Камераи вакуумӣ бояд қодир бошад, ки ба муҳити вакуумӣ тоб оварад ва мӯҳргузории хубро нигоҳ дорад.
Насоси вакуумӣ: Он барои истихроҷи ҳаво аз дохили камераи вакуумӣ барои эҷоди муҳити вакуумӣ истифода мешавад. Насосҳои маъмулии вакуумӣ насосҳои механикӣ ва насосҳои молекулавиро дар бар мегиранд.
Манбаи бухоршавӣ: Барои гарм кардан ва бухор кардани маводи рӯйпӯш истифода мешавад. Манбаи бухоршавӣ метавонад гармкунии муқовимат, гармкунии шуоъҳои электронӣ, гармкунии лазерӣ ва ғайра бошад.
Чорчӯбаи таҳшинкунӣ (Нигоҳдорандаи таҳкурсӣ): барои ҷойгир кардани таҳкурсии пӯшонидашаванда истифода мешавад. Нигоҳдорандаи таҳкурсӣ метавонад гардиш кунад ё ҳаракат диҳад, то якрангии пӯшиш таъмин карда шавад.
Системаи идоракунӣ: Барои назорати тамоми раванди рӯйпӯшкунӣ, аз ҷумла оғоз ва қатъ кардани насоси вакуумӣ, назорати ҳарорати манбаи бухоршавӣ ва танзими суръати таҳшиншавӣ истифода мешавад.
Таҷҳизоти ченкунӣ ва назорат: Барои назорат кардани параметрҳои калидӣ дар раванди пӯшиш дар вақти воқеӣ, ба монанди дараҷаи вакуум, ҳарорат, суръати таҳшиншавӣ ва ғайра истифода мешавад.
Системаи таъминоти барқ: барои таъмини қувваи зарурӣ барои таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ.
Системаи хунуккунӣ: барои хунук кардани камераи вакуумӣ ва дигар ҷузъҳои тавлидкунандаи гармӣ барои таъмини кори муқаррарии таҷҳизот истифода мешавад.
Ҳамоҳангсозии самараноки ин ҷузъҳо ба таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ имкон медиҳад, ки ғафсӣ, таркиб ва сохтори плёнкаро дақиқ назорат кунад, то ниёзҳои гуногуни саноатӣ ва илмиро қонеъ гардонад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 27 июли соли 2024