Peralatan palapis vakum nyaéta salah sahiji téknologi déposisi pilem ipis dina lingkungan vakum, anu seueur dianggo dina éléktronika, optik, élmu bahan, énergi sareng sajabana. Peralatan palapis vakum utamina diwangun ku bagian-bagian ieu:
Kamar Vakum: Ieu mangrupikeun bagian inti tina alat palapis vakum, dimana sadaya prosés palapis dilaksanakeun. Kamar vakum kedah tiasa tahan lingkungan vakum sareng ngajaga segel anu saé.
Pompa Vakum: Ieu dianggo pikeun ngekstrak hawa di jero rohangan vakum pikeun nyiptakeun lingkungan vakum. Pompa vakum umum kalebet pompa mékanis sareng pompa molekuler.
Sumber Évaporasi: Dianggo pikeun manaskeun sareng nguapkeun bahan palapis. Sumber évaporasi tiasa tina pemanasan résistansi, pemanasan sinar éléktron, pemanasan laser sareng saterasna.
Rangka déposisi (Panyekel Substrat): dianggo pikeun neundeun substrat anu badé dilapis. Panyekel substrat tiasa diputer atanapi dipindahkeun pikeun mastikeun seragamna lapisan.
Sistem Kontrol: Dianggo pikeun ngontrol sakabéh prosés palapis, kalebet ngamimitian sareng ngeureunkeun pompa vakum, kontrol suhu sumber penguapan, sareng panyesuaian laju déposisi.
Alat pangukuran sareng pangawasan: Dianggo pikeun ngawaskeun parameter konci dina prosés palapis sacara real time, sapertos derajat vakum, suhu, laju déposisi, jsb.
Sistem catu daya: pikeun nyayogikeun daya anu diperyogikeun pikeun alat palapis vakum.
Sistem pendingin: dianggo pikeun niiskeun rohangan vakum sareng komponén pembangkit panas anu sanés pikeun mastikeun operasi normal alat-alat.
Koordinasi anu efektif tina komponén-komponén ieu ngamungkinkeun alat palapis vakum pikeun ngontrol ketebalan, komposisi, sareng struktur pilem sacara tepat pikeun minuhan rupa-rupa kabutuhan industri sareng ilmiah.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 27-Jul-2024