Piranti pelapisan vakum minangka salah sawijining teknologi deposisi film tipis ing lingkungan vakum, sing akeh digunakake ing elektronik, optik, ilmu material, energi lan liya-liyane. Piranti pelapisan vakum utamane kasusun saka bagean-bagean ing ngisor iki:
Kamar Vakum: Iki minangka bagean inti saka peralatan pelapisan vakum, ing ngendi kabeh proses pelapisan ditindakake. Kamar vakum kudu bisa tahan lingkungan vakum lan njaga segel sing apik.
Pompa Vakum: Iki digunakake kanggo njupuk udara ing njero ruang vakum kanggo nggawe lingkungan vakum. Pompa vakum umum kalebu pompa mekanik lan pompa molekuler.
Sumber Penguapan: Digunakake kanggo manasi lan nguapke bahan lapisan. Sumber penguapan bisa saka pemanasan resistensi, pemanasan sinar elektron, pemanasan laser lan liya-liyane.
Rangka deposisi (Pemegang Substrat): digunakake kanggo nyelehake substrat sing bakal dilapisi. Pemegang substrat bisa diputer utawa dipindhah kanggo njamin keseragaman lapisan.
Sistem Kontrol: Digunakake kanggo ngontrol kabeh proses pelapisan, kalebu wiwitan lan mandheg pompa vakum, kontrol suhu sumber penguapan, lan pangaturan tingkat deposisi.
Piranti pangukuran lan pemantauan: Digunakake kanggo ngawasi parameter kunci ing proses pelapisan kanthi wektu nyata, kayata derajat vakum, suhu, tingkat deposisi, lan liya-liyane.
Sistem catu daya: kanggo nyedhiyakake daya sing dibutuhake kanggo peralatan lapisan vakum.
Sistem pendingin: digunakake kanggo ngademake ruang vakum lan komponen pembangkit panas liyane kanggo njamin operasi normal peralatan kasebut.
Koordinasi efektif saka komponen-komponen iki ndadekake peralatan lapisan vakum bisa ngontrol kekandelan, komposisi, lan struktur film kanthi tepat kanggo nyukupi macem-macem kabutuhan industri lan ilmiah.
-Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 27 Juli 2024