Вакуумдық жабын жабдықтары - электроника, оптика, материалтану, энергетика және т.б. салаларда кеңінен қолданылатын вакуумдық ортада жұқа қабықшалы тұндыру технологиясының бір түрі. Вакуумдық жабын жабдықтары негізінен келесі бөліктерден тұрады:
Вакуумдық камера: Бұл вакуумдық жабын жабдығының негізгі бөлігі, онда барлық жабын жабындары орындалады. Вакуумдық камера вакуумдық ортаға төтеп бере алатын және жақсы тығыздауды сақтай алатын болуы керек.
Вакуумдық сорғы: Ол вакуумдық орта жасау үшін вакуумдық камераның ішіндегі ауаны сорып алу үшін қолданылады. Жалпы вакуумдық сорғыларға механикалық және молекулалық сорғылар жатады.
Булану көзі: Жабын материалын қыздыру және буландыру үшін қолданылады. Булану көзі кедергімен қыздыру, электронды сәулемен қыздыру, лазермен қыздыру және т.б. болуы мүмкін.
Тұндырғыш жақтау (негіз ұстағыш): жабылатын негізді орналастыру үшін қолданылады. Жабынның біркелкілігін қамтамасыз ету үшін негіз ұстағышын айналдыруға немесе жылжытуға болады.
Басқару жүйесі: Вакуумдық сорғыны іске қосу және тоқтату, булану көзінің температурасын бақылау және тұндыру жылдамдығын реттеуді қоса алғанда, бүкіл жабу процесін басқару үшін қолданылады.
Өлшеу және бақылау жабдықтары: жабу процесіндегі негізгі параметрлерді нақты уақыт режимінде бақылау үшін қолданылады, мысалы, вакуум дәрежесі, температура, тұндыру жылдамдығы және т.б.
Электрмен жабдықтау жүйесі: вакуумдық жабын жабдықтарын қажетті қуатпен қамтамасыз ету үшін.
Салқындату жүйесі: жабдықтың қалыпты жұмысын қамтамасыз ету үшін вакуумдық камераны және басқа жылу шығаратын компоненттерді салқындату үшін қолданылады.
Бұл компоненттердің тиімді үйлестірілуі вакуумдық жабын жабдықтарына әртүрлі өнеркәсіптік және ғылыми қажеттіліктерді қанағаттандыру үшін пленканың қалыңдығын, құрамын және құрылымын дәл басқаруға мүмкіндік береді.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 27 шілде