Vakuumli qoplama uskunalari vakuum muhitida yupqa plyonkali cho'ktirish texnologiyasining bir turi bo'lib, elektronika, optika, materialshunoslik, energetika va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi. Vakuumli qoplama uskunalari asosan quyidagi qismlardan iborat:
Vakuum kamerasi: Bu vakuum qoplama uskunasining asosiy qismi bo'lib, unda barcha qoplama jarayonlari amalga oshiriladi. Vakuum kamerasi vakuum muhitiga bardosh bera olishi va yaxshi muhrlanishni saqlab turishi kerak.
Vakuum nasosi: Vakuum kamerasi ichidagi havoni chiqarib olish va vakuum muhitini yaratish uchun ishlatiladi. Keng tarqalgan vakuum nasoslariga mexanik va molekulyar nasoslar kiradi.
Bug'lanish manbai: Qoplama materialini isitish va bug'lantirish uchun ishlatiladi. Bug'lanish manbai qarshilik bilan isitish, elektron nurlari bilan isitish, lazer bilan isitish va boshqalar bo'lishi mumkin.
Cho'ktirish ramkasi (Substrat ushlagichi): qoplanadigan substratni joylashtirish uchun ishlatiladi. Qoplamaning bir xilligini ta'minlash uchun substrat ushlagichini aylantirish yoki siljitish mumkin.
Boshqarish tizimi: Vakuum nasosini ishga tushirish va to'xtatish, bug'lanish manbasining haroratini boshqarish va cho'kish tezligini sozlash kabi butun qoplama jarayonini boshqarish uchun ishlatiladi.
O'lchash va monitoring uskunalari: Qoplama jarayonidagi asosiy parametrlarni real vaqt rejimida, masalan, vakuum darajasi, harorat, cho'kish tezligi va boshqalarni kuzatish uchun ishlatiladi.
Elektr ta'minoti tizimi: vakuum qoplama uskunalari uchun zarur quvvatni ta'minlash uchun.
Sovutish tizimi: uskunaning normal ishlashini ta'minlash uchun vakuum kamerasini va boshqa issiqlik hosil qiluvchi komponentlarni sovutish uchun ishlatiladi.
Ushbu komponentlarning samarali muvofiqlashtirilishi vakuumli qoplama uskunalariga turli xil sanoat va ilmiy ehtiyojlarni qondirish uchun plyonkaning qalinligi, tarkibi va tuzilishini aniq boshqarish imkonini beradi.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Joylashtirilgan vaqt: 2024-yil 27-iyul