Peralatan salutan vakum adalah sejenis teknologi pemendapan filem nipis dalam persekitaran vakum, yang digunakan secara meluas dalam elektronik, optik, sains bahan, tenaga dan sebagainya. Peralatan salutan vakum terutamanya terdiri daripada bahagian-bahagian berikut:
Kebuk Vakum: Ini adalah bahagian teras peralatan salutan vakum, tempat semua proses salutan dijalankan. Kebuk vakum mesti dapat menahan persekitaran vakum dan mengekalkan pengedap yang baik.
Pam Vakum: Ia digunakan untuk mengekstrak udara di dalam ruang vakum bagi mewujudkan persekitaran vakum. Pam vakum biasa termasuk pam mekanikal dan pam molekul.
Sumber Penyejatan: Digunakan untuk memanaskan dan menyejatkan bahan salutan. Sumber penyejatan boleh jadi pemanasan rintangan, pemanasan pancaran elektron, pemanasan laser dan sebagainya.
Rangka pemendapan (Pemegang Substrat): digunakan untuk meletakkan substrat yang hendak disalut. Pemegang substrat boleh diputar atau digerakkan untuk memastikan keseragaman salutan.
Sistem Kawalan: Digunakan untuk mengawal keseluruhan proses salutan, termasuk permulaan dan penghentian pam vakum, kawalan suhu sumber penyejatan dan pelarasan kadar pemendapan.
Peralatan pengukur dan pemantauan: Digunakan untuk memantau parameter utama dalam proses salutan dalam masa nyata, seperti darjah vakum, suhu, kadar pemendapan, dll.
Sistem bekalan kuasa: untuk menyediakan kuasa yang diperlukan untuk peralatan salutan vakum.
Sistem penyejukan: digunakan untuk menyejukkan ruang vakum dan komponen penjana haba lain untuk memastikan operasi normal peralatan.
Koordinasi komponen-komponen ini yang berkesan membolehkan peralatan salutan vakum mengawal ketebalan, komposisi dan struktur filem dengan tepat bagi memenuhi pelbagai keperluan perindustrian dan saintifik.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 27 Julai 2024