የቫኩም ሽፋን መሣሪያዎች ክፍሎች

የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች በቫክዩም አካባቢ ውስጥ ቀጭን የፊልም ማስቀመጫ ቴክኖሎጂ ሲሆን በኤሌክትሮኒክስ፣ በኦፕቲክስ፣ በቁሳቁስ ሳይንስ፣ በኢነርጂ እና በመሳሰሉት በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች በዋናነት የሚከተሉትን ክፍሎች ያቀፈ ነው፡

የቫክዩም ቻምበር፡- ይህ የቫክዩም መሸፈኛ መሳሪያዎች ዋና አካል ሲሆን ሁሉም የሽፋን ሂደቶች የሚከናወኑበት ነው። የቫክዩም ቻምበር የቫክዩም አካባቢን መቋቋም እና ጥሩ ማሸጊያ ማድረግ መቻል አለበት።

የቫክዩም ፓምፕ፡- በቫክዩም ክፍሉ ውስጥ ያለውን አየር ለማውጣትና የቫክዩም አካባቢ ለመፍጠር ይጠቅማል። የተለመዱ የቫክዩም ፓምፖች ሜካኒካል ፓምፖችን እና ሞለኪውላዊ ፓምፖችን ያካትታሉ።

የትነት ምንጭ፡- የሽፋን ቁሳቁሱን ለማሞቅና ለማትነን የሚያገለግል። የትነት ምንጭ የመቋቋም ማሞቂያ፣ የኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ፣ የሌዘር ማሞቂያ እና የመሳሰሉት ሊሆኑ ይችላሉ።

የማስቀመጫ ፍሬም (የንዑስ ክፍል መያዣ): ንዑስ ክፍል እንዲሸፈን ለማስቀመጥ የሚያገለግል። የንዑስ ክፍል መያዣው የንዑስ ክፍሉን ተመሳሳይነት ለማረጋገጥ ሊሽከረከር ወይም ሊንቀሳቀስ ይችላል።

የመቆጣጠሪያ ስርዓት፡- የቫክዩም ፓምፑን መጀመርና ማቆም፣ የትነት ምንጭ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና የማስቀመጫ መጠን ማስተካከያን ጨምሮ አጠቃላይ የሽፋን ሂደቱን ለመቆጣጠር ይጠቅማል።

የመለኪያ እና የክትትል መሳሪያዎች፡- በእውነተኛ ጊዜ በሽፋን ሂደት ውስጥ ቁልፍ መለኪያዎችን ለመከታተል የሚያገለግል ሲሆን ይህም እንደ የቫክዩም ዲግሪ፣ የሙቀት መጠን፣ የተቀማጭ መጠን፣ ወዘተ.

የኃይል አቅርቦት ስርዓት፡- ለቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች የሚያስፈልገውን ኃይል ለማቅረብ።

የማቀዝቀዣ ስርዓት፡- የመሳሪያውን መደበኛ አሠራር ለማረጋገጥ የቫክዩም ክፍሉን እና ሌሎች ሙቀትን የሚያመነጩ ክፍሎችን ለማቀዝቀዝ የሚያገለግል።

የእነዚህ ክፍሎች ውጤታማ ቅንጅት የቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች የተለያዩ የኢንዱስትሪ እና ሳይንሳዊ ፍላጎቶችን ለማሟላት የፊልሙን ውፍረት፣ ቅንብር እና መዋቅር በትክክል እንዲቆጣጠሩ ያስችላቸዋል።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ