Vacuümcoatingapparatuur is een technologie voor het afzetten van dunne films in een vacuümomgeving. Deze technologie wordt veel gebruikt in de elektronica, optica, materiaalkunde, energie en andere sectoren. Vacuümcoatingapparatuur bestaat hoofdzakelijk uit de volgende onderdelen:
Vacuümkamer: Dit is het kernonderdeel van de vacuümcoatinginstallatie, waarin alle coatingprocessen plaatsvinden. De vacuümkamer moet bestand zijn tegen de vacuümomstandigheden en een goede afdichting behouden.
Vacuümpomp: Deze wordt gebruikt om de lucht in de vacuümkamer af te zuigen en zo een vacuümomgeving te creëren. Veelvoorkomende vacuümpompen zijn mechanische pompen en moleculaire pompen.
Verdampingsbron: Wordt gebruikt om het coatingmateriaal te verwarmen en te verdampen. De verdampingsbron kan bestaan uit weerstandsverwarming, elektronenbundelverwarming, laserverwarming, enzovoort.
Afzettingsframe (substraathouder): wordt gebruikt om het te coaten substraat te plaatsen. De substraathouder kan worden gedraaid of bewogen om een gelijkmatige coating te garanderen.
Besturingssysteem: Wordt gebruikt om het gehele coatingproces te regelen, inclusief het starten en stoppen van de vacuümpomp, de temperatuurregeling van de verdampingsbron en de aanpassing van de afzettingssnelheid.
Meet- en bewakingsapparatuur: Wordt gebruikt om de belangrijkste parameters in het coatingproces in realtime te bewaken, zoals vacuümgraad, temperatuur, afzettingssnelheid, enz.
Voedingssysteem: om de benodigde stroom te leveren voor de vacuümcoatingapparatuur.
Koelsysteem: wordt gebruikt om de vacuümkamer en andere warmtegenererende componenten te koelen, zodat de apparatuur normaal blijft functioneren.
De effectieve coördinatie van deze componenten stelt de vacuümcoatingapparatuur in staat om de dikte, samenstelling en structuur van de film nauwkeurig te regelen, om zo te voldoen aan uiteenlopende industriële en wetenschappelijke behoeften.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 27 juli 2024