Вакуум бүрэх төхөөрөмж нь вакуум орчинд нимгэн хальсан тунадасжуулах технологийн нэг төрөл бөгөөд электроник, оптик, материалын шинжлэх ухаан, эрчим хүч гэх мэт салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Вакуум бүрэх төхөөрөмж нь голчлон дараах хэсгүүдээс бүрдэнэ.
Вакуум камер: Энэ нь вакуум бүрэх төхөөрөмжийн гол хэсэг бөгөөд бүх бүрэх процессыг гүйцэтгэдэг. Вакуум камер нь вакуум орчинд тэсвэртэй, сайн битүүмжлэлтэй байх ёстой.
Вакуум насос: Энэ нь вакуум камер доторх агаарыг сороход ашигладаг бөгөөд вакуум орчин бүрдүүлдэг. Нийтлэг вакуум насосуудад механик болон молекулын насосууд багтдаг.
Ууршилтын эх үүсвэр: Бүрхүүл материалыг халаах, ууршуулахад ашигладаг. Ууршилтын эх үүсвэр нь эсэргүүцлийн халаалт, электрон цацрагийн халаалт, лазер халаалт гэх мэт байж болно.
Тунадасжуулах хүрээ (Суурь суурь баригч): бүрэх суурийг байрлуулахад ашигладаг. Бүрхүүлийн жигд байдлыг хангахын тулд суурь суурь баригчийг эргүүлэх эсвэл зөөж болно.
Хяналтын систем: Вакуум насосыг эхлүүлэх, зогсоох, ууршуулах эх үүсвэрийн температурыг хянах, тунадасны хурдыг тохируулах зэрэг бүрхүүлийн бүх үйл явцыг хянах зорилгоор ашигладаг.
Хэмжих болон хянах тоног төхөөрөмж: Вакуум зэрэг, температур, тунадасны хурд гэх мэт бүрхүүлийн үйл явцын гол параметрүүдийг бодит цаг хугацаанд хянах зорилгоор ашигладаг.
Цахилгаан хангамжийн систем: вакуум бүрэх тоног төхөөрөмжид шаардлагатай эрчим хүчийг хангах.
Хөргөлтийн систем: Тоног төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагааг хангахын тулд вакуум камер болон бусад дулаан үүсгэдэг эд ангиудыг хөргөхөд ашигладаг.
Эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн үр дүнтэй зохицуулалт нь вакуум бүрэх төхөөрөмжид үйлдвэрлэлийн болон шинжлэх ухааны янз бүрийн хэрэгцээг хангахын тулд хальсны зузаан, найрлага, бүтцийг нарийн хянах боломжийг олгодог.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 7-р сарын 27