Wakuum örtük enjamlary, elektronika, optika, material ylymlary, energiýa we ş.m. giňden ulanylýan wakuum gurşawynda inçe film çökdürmek tehnologiýasydyr. Wakuum örtük enjamlary esasan aşakdaky böleklerden durýar:
Wakuum palatasy: Bu vakuum örtük enjamlarynyň esasy bölegi bolup, ähli örtük amallary amala aşyrylýar. Wakuum kamerasy wakuum gurşawyna garşy durmagy we oňat möhürlenmegi başarmaly.
Wakuum nasosy: Wakuum gurşawyny döretmek üçin wakuum kamerasynyň içindäki howany çykarmak üçin ulanylýar. Adaty vakuum nasoslary mehaniki nasoslary we molekulýar nasoslary öz içine alýar.
Buglanma çeşmesi: Örtük materialyny gyzdyrmak we bugarmak üçin ulanylýar. Buglaşma çeşmesi garşylykly ýyladyş, elektron şöhleleri gyzdyrmak, lazer bilen ýylatmak we ş.m. bolup biler.
Depozit çarçuwasy (Substrat saklaýjy): substraty örtmek üçin ulanylýar. Substrat saklaýjy örtügiň birmeňzeşligini üpjün etmek üçin aýlanyp ýa-da süýşürilip bilner.
Dolandyryş ulgamy: Wakuum nasosynyň başlangyjy we durmagy, bugarma çeşmesiniň temperatura gözegçiligi we çöketlik tizligini sazlamak ýaly ähli örtük prosesine gözegçilik etmek üçin ulanylýar.
Ölçeg we gözegçilik enjamlary: Wakuum derejesi, temperatura, çöketlik derejesi we ş.m. ýaly örtük prosesiniň esasy parametrlerine hakyky wagtda gözegçilik etmek üçin ulanylýar.
Elektrik üpjünçiligi ulgamy: wakuum örtük enjamlary üçin zerur güýji üpjün etmek.
Sowadyjy ulgam: enjamyň kadaly işlemegini üpjün etmek üçin wakuum kamerasyny we beýleki ýylylyk öndüriji komponentleri sowatmak üçin ulanylýar.
Bu komponentleriň täsirli utgaşdyrylmagy wakuum örtük enjamlaryna dürli önümçilik we ylmy zerurlyklary kanagatlandyrmak üçin filmiň galyňlygyny, düzümini we gurluşyny takyk gözegçilikde saklamaga mümkinçilik berýär.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Iýul-27-2024