Inçe film çökdürmek pudagynda tüýkürmek tehnologiýasy dürli pudaklarda takyk we birmeňzeş inçe filmleri gazanmak üçin giňden ulanylýan usula öwrüldi. Bu tehnologiýalaryň köp taraplylygy we ygtybarlylygy, inersenerlere we gözlegçilere belli bir maksatlar üçin inçe filmleri düzmäge mümkinçilik berýän amaly giňeldýär. Bu blog ýazgymyzda, häzirki wagtda giňden ulanylýan tüýdük tehnologiýalarynyň dürli görnüşlerine içgin serederis, özboluşly aýratynlyklaryny, peýdalaryny we amalyýetlerini düşündireris.
1. DC tüýkürmek
DC tüýkürmek iň esasy we giňden ulanylýan inçe film goýmak usullaryndan biridir. Bu proses pes basyşly gaz gurşawynda ýalpyldawuk akym döretmek üçin DC güýç çeşmesini ulanmagy öz içine alýar. Plazmadaky polo positiveitel ionlar maksatly materialy bombalaýar, atomlary bölüp, substrata goýýar. DC tüýdügi ýönekeýligi, çykdajylylygy we ýokary hilli inçe filmleri aýna, keramika we metal ýaly dürli substratlara goýmak ukyby bilen tanalýar.
DC tüýdüginiň programmalary:
- icarymgeçiriji önümçiligi
- Optiki örtük
- Inçe film gün öýjükleri
2. Radio ýygylygy we reaktiw tüýdük
Radio ýygylygy (RF) tüýkürmek, DC tüýdüginiň RF güýji bilen berilýän görnüşidir. Bu usulda maksatly material radio ýygylyk güýji bilen döredilen ionlar bilen bombalanýar. RF meýdançasynyň bolmagy, filmiň düzümine has takyk gözegçilik etmäge mümkinçilik berýän ionlaşdyrma prosesini güýçlendirýär. Beýleki tarapdan, reaktiw tüýkürmek, azot ýa-da kislorod ýaly reaktiw gazy tüýkürmek kamerasyna girizmegi öz içine alýar. Bu ösen material aýratynlyklary bilen oksidler ýa-da nitridler ýaly birleşmeleriň inçe filmlerini emele getirmäge mümkinçilik berýär.
RF we reaktiw tüýdük programmalary:
- şöhlelenmä garşy örtük
- icarymgeçiriji barýer
- Optiki tolkun gollanmalary
3. Magnitron tüýdük
Magnitron tüýdügi ýokary tizlikli çöketlik üçin meşhur saýlawdyr. Bu tehnologiýa, plazmanyň dykyzlygyny ýokarlandyrmak üçin maksatly ýeriň golaýyndaky magnit meýdanyndan peýdalanýar, netijede ýokary ionlaşma netijeliligi we ajaýyp inçe film ýelimi bolýar. Goşmaça magnit meýdany plazmany nyşana ýakyn çäklendirýär, adaty tüýdük usullary bilen deňeşdirilende maksat sarp edilişini azaldýar. Magnetronyň dökülmegi has ýokary depozit derejesini we ýokary örtük häsiýetlerini üpjün edýär we uly göwrümli önümçilik üçin amatly edýär.
Magnitron tüýdüginiň goşundylary:
- inçe film tranzistory
- Magnit saklaýyş serişdesi
- Aýna we metaldan bezeg örtükleri
4. Ion şöhlesi tüýkürýär
Ion şöhlesiniň dökülmegi (IBS), ion şöhlesini ulanyp, maksatly materiallary dökmek üçin köpugurly usuldyr. IBS ýokary derejede dolandyrylýar, takyk film galyňlygyna gözegçilik etmäge we material ýitgisini azaltmaga mümkinçilik berýär. Bu tehnologiýa stohiometrik taýdan dogry düzümi we pes hapalanma derejesini üpjün edýär. Ajaýyp film birmeňzeşligi we maksatly materiallaryň giň görnüşi bilen, IBS ýörite programmalar üçin amatly edip, tekiz, kemçiliksiz filmleri öndürip biler.
Ion şöhleleriniň ýaýramagy:
- rentgen aýnasy
- Optiki süzgüçler
- Könelişmä we pes sürtülme örtük
Sözümiň ahyrynda
Tüýdük tehnologiýasy dünýäsi giň we dürli-dürli bolup, inersenerlere we gözlegçilere inçe film goýmak üçin köp mümkinçilikleri hödürleýär. Düwürtmegiň dürli görnüşlerini we olaryň ulanylyşyny bilmek, belli bir talaplara laýyklykda inçe inçe film häsiýetlerine ýetmek üçin zerurdyr. Simpleönekeý DC tüýdüginden başlap, ion şöhleleriniň dökülmegine çenli her usul köp sanly pudakda möhüm rol oýnaýar we häzirki zaman tehnologiýasynyň ösmegine goşant goşýar.
Tüýdük tehnologiýasynyň soňky ösüşlerine düşünmek bilen, häzirki zaman senagatynyň barha artýan isleglerini kanagatlandyrmak üçin inçe filmleriň güýjüni ulanyp bileris. Elektronikada, optoelektronikada ýa-da ösen materiallarda bolsun, tüýdük tehnologiýasy ertiriň tehnologiýalaryny dizaýn etmegimizi we öndürmegimizi dowam etdirýär.
Iş wagty: Awgust-15-2023