Lefapheng la ho beha filimi e tšesaane, theknoloji ea ho phunya e se e le mokhoa o sebelisoang haholo ho fihlela lifilimi tse tšesaane tse nepahetseng le tse ts'oanang liindastering tse fapaneng. Ho tenyetseha le ho tšepahala ha theknoloji ena ho atolosa lits'ebetso tsa eona, ho lumella baenjiniere le bafuputsi ho etsa lifilimi tse tšesaane bakeng sa merero e itseng. Posong ena ea blog, re tla sheba ka botebo mefuta e fapaneng ea theknoloji ea ho phunya e sebelisoang haholo kajeno, re hlalosa litšobotsi tsa eona tse ikhethang, melemo le lits'ebetso.
1. Ho ntsha metsi ka DC
Ho phunya ha DC ke e 'ngoe ea mekhoa ea motheo le e sebelisoang haholo ea ho phunya filimi e tšesaane. Ts'ebetso ena e kenyelletsa ho sebelisa mohloli oa motlakase oa DC ho hlahisa ho ntsha ha khanya tikolohong ea khase e nang le khatello e tlase. Li-ion tse ntle ka har'a plasma li hlasela thepa e reriloeng, li ntša liathomo le ho li beha holim'a substrate. Ho phunya ha DC ho tsebahala ka bonolo ba hona, katleho ea litšenyehelo, le bokhoni ba ho beha lifilimi tse tšesaane tsa boleng bo holimo holim'a substrate tse fapaneng, ho kenyeletsoa khalase, liserami le litšepe.
Litšebeliso tsa ho qhala ha DC:
- Tlhahiso ea semiconductor
- Ho koahela ka mahlo
- Lisele tse tšesaane tsa letsatsi tse nang le filimi
2. Maqhubu a Radio le ho phatloha ha maqhubu a arabelang
Ho sputtering ha maqhubu a radio (RF) ke mofuta o thuswang ke matla a RF wa ho sputtering ha DC. Mokgweng ona, thepa e rerilweng e hlasetswa ka di-ion tse hlahiswang ke matla a maqhubu a radio. Boteng ba tshimo ya RF bo ntlafatsa tshebetso ya ionization, e leng se dumellang taolo e nepahetseng haholoanyane ya sebopeho sa filimi. Ka lehlakoreng le leng, ho sputtering ha maqhubu a radio ho kenyelletsa ho kenya kgase e arabelang, jwalo ka naetrojene kapa oksijene, ka phaposing ya ho sputtering. Sena se nolofalletsa ho thehwa ha difilimi tse tshesane tsa metsoako, jwalo ka di-oxide kapa di-nitride, tse nang le thepa e ntlafetseng ya thepa.
Ditshebediso tsa RF le Reactive Sputtering:
- Seaparo se thibelang ho bonahatsa
- Thibelo ea semiconductor
- Litataiso tsa maqhubu a Optical
3. Ho ntsha matheba a magnetron
Ho phunya ha Magnetron ke khetho e tsebahalang bakeng sa ho phunya ha sekhahla se phahameng. Theknoloji ena e sebelisa matla a makenete haufi le bokaholimo ba sepheo ho eketsa bongata ba plasma, e leng se fellang ka katleho e phahameng ea ionization le ho khomarela filimi e tšesaane e ntle haholo. Matla a makenete a eketsehileng a thibela plasma haufi le sepheo, a fokotsa tšebeliso ea sepheo ha a bapisoa le mekhoa e tloaelehileng ea ho phunya. Ho phunya ha Magnetron ho netefatsa sekhahla se phahameng sa ho phunya le thepa e phahameng ea ho roala, e leng se etsang hore e be e loketseng tlhahiso e kholo.
Ditshebediso tsa ho ntsha metsi ka magnetron:
- transistor e tšesaane ea filimi
- Mecha ea polokelo ea makenete
- Liaparo tse khabisitsoeng khalaseng le tšepeng
4. Ho phatloha ha mahlasedi a ione
Ho phunya mahlaseli a ion beam (IBS) ke mokhoa o feto-fetohang oa ho phunya lisebelisoa tse reretsoeng ho sebelisoa mahlaseli a ion. IBS e laoleha haholo, e lumella taolo e nepahetseng ea botenya ba filimi le ho fokotsa tahlehelo ea thepa. Theknoloji ena e netefatsa hore sebopeho se nepahetse ka mokhoa o tsitsitseng le maemo a tlase a tšilafalo. Ka ho tšoana ha eona ho hoholo ha filimi le khetho e pharaletseng ea lisebelisoa tse reretsoeng ho phunya, IBS e ka hlahisa lifilimi tse boreleli, tse se nang sekoli, e leng se etsang hore e lokele lits'ebetso tse khethehileng.
Ditshebediso tsa ho tjhesa ha Ion Beam:
- Seipone sa X-ray
- Li-filter tsa mahlo
- Seaparo se thibelang ho tsofala le se sa ferekane haholo
ha re phethela
Lefatše la theknoloji ea ho phunya le leholo ebile le fapane, le fa baenjiniere le bafuputsi menyetla e mengata ea ho beha filimi e tšesaane. Tsebo ea mefuta e fapaneng ea mekhoa ea ho phunya le ts'ebeliso ea eona e bohlokoa ho fihlela litšobotsi tse ntle tsa filimi e tšesaane ho latela litlhoko tse itseng. Ho tloha ho phunya e bonolo ea DC ho isa ho phunya e nepahetseng ea mahlaseli a ion, mokhoa o mong le o mong o bapala karolo ea bohlokoa liindastering tse ngata, o kenya letsoho ho ntšetseng pele theknoloji ea sejoale-joale.
Ka ho utloisisa tsoelo-pele ea morao-rao theknolojing ea ho phunya, re ka sebelisa matla a lifilimi tse tšesaane ho fihlela litlhoko tse ntseng li hola tsa indasteri ea sejoale-joale. Ebang ke tsa lisebelisoa tsa elektroniki, tsa optoelectronic kapa tsa thepa e tsoetseng pele, theknoloji ea ho phunya e ntse e tsoela pele ho bopa tsela eo re ralang le ho hlahisa mahlale a hosane.
Nako ea poso: Phato-15-2023