Nínú iṣẹ́ ìtọ́jú fíìmù tín-tín, ìmọ̀ ẹ̀rọ sputtering ti di ọ̀nà tí a ń lò láti ṣe àṣeyọrí àwọn fíìmù tín-tín tó péye àti tó dọ́gba ní onírúurú iṣẹ́. Ìyípadà àti ìgbẹ́kẹ̀lé àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ wọ̀nyí ń mú kí àwọn ohun èlò wọn gbòòrò sí i, èyí tó ń jẹ́ kí àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ àti àwọn olùwádìí lè ṣe àwọn fíìmù tín-tín fún àwọn ète pàtó kan. Nínú ìwé ìròyìn yìí, a ó wo onírúurú ìmọ̀ ẹ̀rọ sputtering tí a sábà máa ń lò lónìí, a ó sì ṣàlàyé àwọn ànímọ́ wọn, àǹfààní àti àwọn ohun èlò tí wọ́n ń lò.
1. Ìfọ́nká DC
Ìfọ́ DC jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ọ̀nà ìfọ́ fiimu tín-tín tó rọ̀ jùlọ tí a sì ń lò ní gbogbogbòò. Ìlànà náà ní lílo orísun agbára DC láti mú ìtújáde ìmọ́lẹ̀ jáde ní àyíká gáàsì tí ó ní ìfúnpọ̀ díẹ̀. Àwọn ion rere nínú plasma ń bo ohun èlò tí a fẹ́ lò, wọ́n ń tú àwọn átọ̀mù jáde, wọ́n sì ń fi wọ́n sí orí ìpìlẹ̀ náà. Ìfọ́ DC jẹ́ ohun tí a mọ̀ fún ìrọ̀rùn rẹ̀, bí ó ṣe rọrùn tó, àti bí ó ṣe lè náwó tó, àti agbára láti fi àwọn fíìmù tín-tín tó ga sí oríṣiríṣi ìpìlẹ̀, títí kan gíláàsì, àwọn ohun èlò amọ̀, àti àwọn irin.
Awọn ohun elo ti sputtering DC:
- Iṣẹ iṣelọpọ semikondokito
- Ibora Opitika
- Awọn sẹẹli oorun fiimu tinrin
2. Igbohunsafẹfẹ Redio ati Sputtering Reactive
Ìfọ́mọ́lẹ̀ rédíò (RF) jẹ́ oríṣiríṣi agbára RF ti ìfọ́mọ́lẹ̀ rédíò DC. Nínú ọ̀nà yìí, a máa fi àwọn ion tí agbára ìfọ́mọ́lẹ̀ rédíò ń mú jáde sínú ohun èlò tí a fẹ́ lò. Wíwà pápá RF mú kí ìlànà ionization pọ̀ sí i, èyí tí ó ń jẹ́ kí ìṣàkóso ìṣẹ̀dá fíìmù náà péye. Ní ọwọ́ kejì ẹ̀wẹ̀, ìfọ́mọ́lẹ̀ rédíò ní í ṣe pẹ̀lú fífi gáàsì oníṣẹ́-agbára, bíi nitrogen tàbí oxygen, sínú yàrá ìfọ́mọ́lẹ̀. Èyí ń jẹ́ kí a ṣe àwọn fíìmù oníṣẹ́-agbára, bíi oxides tàbí nitrides, pẹ̀lú àwọn ohun-ìní ohun-ìní tí ó dára sí i.
Awọn ohun elo ti RF ati Sputtering ti nṣiṣe lọwọ:
- Ibora alatako-otitọ
- Idana Semikonductor
- Awọn itọsọna igbi oju opitika
3. Ìfọ́nká Magnetron
Ìfọ́ Magnetron jẹ́ àṣàyàn tí ó gbajúmọ̀ fún ìfọ́ Magnetron tó ga. Ìmọ̀-ẹ̀rọ yìí ń lo pápá mágnẹ́ẹ̀tì kan nítòsí ojú ibi tí a fẹ́ láti mú kí ìwọ̀n plasma pọ̀ sí i, èyí tí ó ń yọrí sí iṣẹ́ ionization tó ga àti ìdènà fíìmù tó tinrin tó dára. Apá mágnẹ́ẹ̀tì afikún náà ń dín plasma náà kù sí ibi tí a fẹ́, èyí sì ń dín lílo ohun tí a fẹ́ lò kù ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ọ̀nà ìfọ́ Magnetron tó wọ́pọ̀. Ìfọ́ Magnetron ń rí i dájú pé ìwọ̀n ìfọ́ Magnẹ́ẹ̀tì tó ga jù àti àwọn ànímọ́ ìbòrí tó ga jù, èyí sì ń mú kí ó dára fún iṣẹ́-ṣíṣe ńlá.
Awọn ohun elo ti magnetron sputtering:
- transistor fiimu tinrin
- Awọn media ibi ipamọ oofa
- Awọn aṣọ ọṣọ lori gilasi ati irin
4. Ìfọ́nká ààyò ion
Ìmọ́lẹ̀ ion beam sputtering (IBS) jẹ́ ọ̀nà tí ó wọ́pọ̀ láti fi ṣe àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra nípa lílo ion beam. IBS jẹ́ ọ̀nà tí a lè ṣàkóso gidigidi, tí ó ń jẹ́ kí fíìmù náà ní ìwọ̀n tó péye àti dín àdánù ohun èlò kù. Ìmọ̀-ẹ̀rọ yìí ń rí i dájú pé ìṣẹ̀dá rẹ̀ péye àti pé ó ní ìwọ̀n ìbàjẹ́ díẹ̀. Pẹ̀lú ìṣọ̀kan fíìmù rẹ̀ tó dára àti yíyan àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra tó wọ́pọ̀, IBS lè ṣe àwọn fíìmù tí kò ní àbùkù, tí ó sì ń mú kí ó dára fún àwọn ohun èlò pàtàkì.
Awọn ohun elo ti Ion Beam Sputtering:
- Digi X-ray
- Awọn àlẹ̀mọ́ opitika
- Aṣọ idena-wiwọ ati fifọ-kekere
ni paripari
Ayé ìmọ̀ ẹ̀rọ sputtering jẹ́ ibi tí ó gbòòrò tí ó sì yàtọ̀ síra, ó ń fún àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ àti àwọn olùwádìí ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ àǹfààní fún ìfipamọ́ fíìmù tín-tín. Ìmọ̀ nípa oríṣiríṣi ọ̀nà sputtering àti àwọn ohun èlò wọn ṣe pàtàkì láti ṣàṣeyọrí àwọn ànímọ́ fíìmù tín-tín tó dára jùlọ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun pàtó kan ṣe béèrè. Láti sputtering DC tí ó rọrùn sí sputtering ion beam tí ó péye, ọ̀nà kọ̀ọ̀kan ń kó ipa pàtàkì nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́, tí ó ń ṣe àfikún sí ìlọsíwájú ìmọ̀ ẹ̀rọ òde-òní.
Nípa lílóye àwọn ìdàgbàsókè tuntun nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ sputtering, a lè lo agbára àwọn fíìmù tín-ín-rín láti bá àwọn ìbéèrè ilé-iṣẹ́ òde òní mu. Yálà nínú ẹ̀rọ itanna, optoelectronics tàbí àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, ìmọ̀ ẹ̀rọ sputtering ń tẹ̀síwájú láti ṣe àgbékalẹ̀ ọ̀nà tí a gbà ń ṣe àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ọ̀la àti ṣíṣe wọn.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-15-2023