மெல்லிய படலப் படிவுத் துறையில், பல்வேறு தொழில்துறைகளில் துல்லியமான மற்றும் சீரான மெல்லிய படலங்களை அடைவதற்கு ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்பம் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முறையாக மாறியுள்ளது. இந்தத் தொழில்நுட்பங்களின் பன்முகத்தன்மையும் நம்பகத்தன்மையும் அவற்றின் பயன்பாடுகளை விரிவுபடுத்துகின்றன, மேலும் பொறியாளர்கள் மற்றும் ஆராய்ச்சியாளர்கள் குறிப்பிட்ட நோக்கங்களுக்காக மெல்லிய படலங்களைத் தனிப்பயனாக்க அனுமதிக்கின்றன. இந்தப் வலைப்பதிவில், இன்று பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பல்வேறு வகையான ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்பங்களை அவற்றின் தனித்துவமான பண்புகள், நன்மைகள் மற்றும் பயன்பாடுகளை விளக்கி, ஆழமாகப் பார்ப்போம்.
1. DC ஸ்பட்டரிங்
டிசி ஸ்பட்டரிங் என்பது மிகவும் அடிப்படையான மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் மென்படலப் படிவு நுட்பங்களில் ஒன்றாகும். இந்தச் செயல்முறையில், குறைந்த அழுத்த வாயுச் சூழலில் ஒரு ஒளிர்வு வெளியேற்றத்தை உருவாக்க, ஒரு டிசி மின் மூலம் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பிளாஸ்மாவில் உள்ள நேர்மின் அயனிகள் இலக்குப் பொருளின் மீது மோதி, அணுக்களைப் பெயர்த்து, அவற்றை அடி மூலக்கூறின் மீது படிய வைக்கின்றன. டிசி ஸ்பட்டரிங் அதன் எளிமை, செலவுத் திறன் மற்றும் கண்ணாடி, பீங்கான், உலோகங்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு அடி மூலக்கூறுகளில் உயர்தர மென்படலங்களைப் படிய வைக்கும் திறன் ஆகியவற்றிற்காக அறியப்படுகிறது.
DC ஸ்பட்டரிங்கின் பயன்பாடுகள்:
குறைக்கடத்தி உற்பத்தி
ஒளியியல் பூச்சு
- மெல்லிய படல சூரிய மின்கலங்கள்
2. ரேடியோ அதிர்வெண் மற்றும் வினைத்திறன் சிதறல்
ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) ஸ்பட்டரிங் என்பது DC ஸ்பட்டரிங்கின் ஒரு RF ஆற்றல் உதவியுடனான வகையாகும். இந்த முறையில், ரேடியோ அதிர்வெண் ஆற்றலால் உருவாக்கப்படும் அயனிகளால் இலக்குப் பொருள் தாக்கப்படுகிறது. ஒரு RF புலத்தின் இருப்பு அயனியாக்கச் செயல்முறையை மேம்படுத்துகிறது, இது படலத்தின் கலவையின் மீது மிகவும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது. மறுபுறம், வினைத்திறன் ஸ்பட்டரிங் என்பது, நைட்ரஜன் அல்லது ஆக்ஸிஜன் போன்ற ஒரு வினைத்திறன் வாயுவை ஸ்பட்டரிங் அறைக்குள் செலுத்துவதை உள்ளடக்கியது. இது, மேம்படுத்தப்பட்ட பொருள் பண்புகளுடன் கூடிய ஆக்சைடுகள் அல்லது நைட்ரைடுகள் போன்ற சேர்மங்களின் மெல்லிய படலங்களை உருவாக்க உதவுகிறது.
RF மற்றும் வினைத்திறன் சிதறலின் பயன்பாடுகள்:
- பிரதிபலிப்பு எதிர்ப்பு பூச்சு
- குறைக்கடத்தித் தடை
ஒளி அலை வழிகாட்டிகள்
3. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்
அதிக வேகத்தில் படிவு ஏற்படுவதற்கு மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் ஒரு பிரபலமான தேர்வாகும். இந்தத் தொழில்நுட்பம், பிளாஸ்மாவின் அடர்த்தியை அதிகரிப்பதற்காக, இலக்குப் பரப்பிற்கு அருகில் ஒரு காந்தப்புலத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. இதன் விளைவாக, அதிக அயனியாக்கத் திறனும் சிறந்த மென்படல ஒட்டுதலும் கிடைக்கின்றன. இந்தக் கூடுதல் காந்தப்புலம், பிளாஸ்மாவை இலக்கிற்கு அருகிலேயே கட்டுப்படுத்துவதால், வழக்கமான ஸ்பட்டரிங் முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது இலக்கு நுகர்வைக் குறைக்கிறது. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் அதிக படிவு விகிதங்களையும் சிறந்த பூச்சுப் பண்புகளையும் உறுதி செய்வதால், இது பெரிய அளவிலான உற்பத்திக்கு மிகவும் உகந்ததாக அமைகிறது.
மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கின் பயன்பாடுகள்:
- மெல்லிய படல டிரான்சிஸ்டர்
- காந்த சேமிப்பு ஊடகம்
கண்ணாடி மற்றும் உலோகத்தின் மீதான அலங்காரப் பூச்சுகள்
4. அயனி கற்றை சிதறல்
அயன் கற்றை சிதறல் (IBS) என்பது ஒரு அயன் கற்றையைப் பயன்படுத்தி இலக்குப் பொருட்களைச் சிதறடிக்கும் ஒரு பல்துறை நுட்பமாகும். IBS அதிகக் கட்டுப்பாட்டுத் திறன் கொண்டது, இது துல்லியமான படலத் தடிமன் கட்டுப்பாட்டை அனுமதிப்பதோடு, பொருள் இழப்பையும் குறைக்கிறது. இந்தத் தொழில்நுட்பம் விகிதவியல் ரீதியாக சரியான கலவையையும் குறைந்த மாசு அளவுகளையும் உறுதி செய்கிறது. அதன் சிறந்த படலச் சீர்மை மற்றும் பரந்த அளவிலான இலக்குப் பொருட்களின் தேர்வு ஆகியவற்றால், IBS மென்மையான, குறைபாடற்ற படலங்களை உருவாக்க முடியும், இது சிறப்புப் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
அயனி கற்றை சிதறலின் பயன்பாடுகள்:
- எக்ஸ்-ரே கண்ணாடி
ஒளியியல் வடிப்பான்கள்
- தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த உராய்வு பூச்சு
முடிவாக
ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்ப உலகம் பரந்ததும் பலதரப்பட்டதும் ஆகும். இது பொறியாளர்களுக்கும் ஆராய்ச்சியாளர்களுக்கும் மென்படலப் படிவுக்கான எண்ணற்ற சாத்தியக்கூறுகளை வழங்குகிறது. குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப உகந்த மென்படலப் பண்புகளை அடைவதற்கு, பல்வேறு வகையான ஸ்பட்டரிங் நுட்பங்கள் மற்றும் அவற்றின் பயன்பாடுகள் பற்றிய அறிவு இன்றியமையாதது. எளிய DC ஸ்பட்டரிங் முதல் துல்லியமான அயன் கற்றை ஸ்பட்டரிங் வரை, ஒவ்வொரு முறையும் பல தொழில்துறைகளில் முக்கியப் பங்கு வகித்து, அதிநவீன தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்திற்குப் பங்களிக்கிறது.
ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்பத்தில் ஏற்பட்டுள்ள சமீபத்திய முன்னேற்றங்களைப் புரிந்துகொள்வதன் மூலம், நவீனத் தொழில்துறையின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளைப் பூர்த்திசெய்ய, மெல்லிய படலங்களின் ஆற்றலை நாம் பயன்படுத்திக்கொள்ள முடியும். மின்னணுவியல், ஒளியியல் மின்னணுவியல் அல்லது மேம்பட்ட பொருட்கள் என எதுவாக இருந்தாலும், நாளைய தொழில்நுட்பங்களை நாம் வடிவமைத்து உற்பத்தி செய்யும் முறையை ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்பம் தொடர்ந்து செதுக்கி வருகிறது.
பதிவிட்ட நேரம்: ஆகஸ்ட் 15, 2023
