Eo amin'ny sehatry ny fametrahana sarimihetsika manify, ny teknolojia sputtering dia lasa fomba ampiasaina betsaka mba hahazoana sarimihetsika manify mazava sy mitovy amin'ny indostria isan-karazany. Ny fahafaha-manao sy ny fahatokisana an'ireo teknolojia ireo dia manitatra ny fampiharana azy ireo, ahafahan'ny injeniera sy mpikaroka manamboatra sarimihetsika manify ho an'ny tanjona manokana. Ato amin'ity lahatsoratra bilaogy ity, dia hojerentsika lalina ireo karazana teknolojia sputtering samihafa ampiasaina matetika ankehitriny, manazava ny toetra mampiavaka azy ireo, ny tombony ary ny fampiharana azy ireo.
1. Fandosirana DC
Ny DC sputtering dia iray amin'ireo teknika fametrahana sarimihetsika manify fototra sy be mpampiasa indrindra. Ny dingana dia misy ny fampiasana loharanon-kery DC mba hamoronana fivoahan'ny hazavana ao anaty tontolo entona ambany tsindry. Ny ion tsara ao amin'ny plasma dia mandatsaka baomba ny fitaovana kendrena, manala atôma ary mametraka azy ireo eo amin'ny substrate. Ny DC sputtering dia fantatra amin'ny fahatsorany, ny fahombiazany amin'ny vidiny, ary ny fahafahany mametraka sarimihetsika manify avo lenta amin'ny substrate isan-karazany, anisan'izany ny fitaratra, seramika ary metaly.
Fampiharana ny DC sputtering:
- Fanamboarana semiconductor
- Fandrakofana optika
- Sela masoandro manify
2. Fahita matetika amin'ny alalan'ny onjam-peo sy ny fiparitahan'ny feo mivaivay
Ny "Radio Frequency" (RF) sputtering dia karazana "DC sputtering" ampiasan'ny herinaratra RF. Amin'ity fomba ity, ny fitaovana kendrena dia tototry ny ionina novokarin'ny herin'ny radio frequency. Ny fisian'ny saha RF dia manatsara ny fizotran'ny ionization, ahafahana mifehy tsara kokoa ny firafitry ny sarimihetsika. Ny "reactive sputtering" kosa dia ny fampidirana entona mihetsika, toy ny azota na oksizenina, ao amin'ny efitrano sputtering. Izany dia ahafahana mamorona sarimihetsika manify misy akora simika, toy ny oksida na nitrida, miaraka amin'ny toetra nohatsaraina.
Fampiharana ny RF sy ny Reactive Sputtering:
- Soson-damba tsy mitaratra taratra
- Sakana semiconductor
- Torolalana optika
3. Fiparitahan'ny Magnetron
Safidy malaza amin'ny fametrahana amin'ny tahan'ny avo lenta ny Magnetron sputtering. Mampiasa saha magnetika akaikin'ny velaran'ny lasibatra ity teknolojia ity mba hampitomboana ny hakitroky ny plasma, ka miteraka fahombiazana ambony kokoa amin'ny ionisation sy fifikirana amin'ny sarimihetsika manify tsara. Ny saha magnetika fanampiny dia mametra ny plasma akaikin'ny lasibatra, mampihena ny fanjifana lasibatra raha oharina amin'ny fomba sputtering mahazatra. Ny Magnetron sputtering dia miantoka ny tahan'ny fametrahana ambony kokoa sy ny fananana coating ambony kokoa, ka mahatonga azy io ho tsara indrindra amin'ny famokarana amin'ny ambaratonga lehibe.
Fampiharana ny magnetron sputtering:
- transistor sarimihetsika manify
- Fitaovana fitahirizana andriamby
- Fandravahana amin'ny fitaratra sy metaly
4. Fiparitahan'ny taratra ion
Teknika azo ampiasaina amin'ny zavatra maro samihafa ny IBS amin'ny fandefasana ireo akora kendrena amin'ny alalan'ny taratra ion. Azo fehezina tsara ny IBS, ahafahana mifehy tsara ny hatevin'ny sarimihetsika ary mampihena ny fatiantoka. Ity teknolojia ity dia miantoka ny firafitra marina sy ny haavon'ny loto ambany. Noho ny fitoviana tsara amin'ny sarimihetsika sy ny fisafidianana akora kendrena maro, ny IBS dia afaka mamokatra sarimihetsika malama sy tsy misy lesoka, ka mahatonga azy io ho mety amin'ny fampiharana manokana.
Fampiharana ny Ion Beam Sputtering:
- Fitaratra X-ray
- Sivana optika
- Coating tsy mora simba sy tsy mora mikorontana
raha fintinina
Midadasika sy isan-karazany ny tontolon'ny teknolojia sputtering, izay manolotra fahafahana maro ho an'ny injeniera sy mpikaroka amin'ny fametrahana sarimihetsika manify. Ny fahalalana ireo karazana teknika sputtering samihafa sy ny fampiharana azy ireo dia tena ilaina mba hahazoana toetra tsara indrindra amin'ny sarimihetsika manify araka ny fepetra takiana manokana. Manomboka amin'ny DC sputtering tsotra ka hatramin'ny ion beam sputtering mazava tsara, ny fomba tsirairay dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny indostria maro, mandray anjara amin'ny fandrosoan'ny teknolojia farany.
Amin'ny fahatakarana ireo fivoarana farany amin'ny teknolojia sputtering, dia afaka mampiasa ny herin'ny sarimihetsika manify isika mba hiatrehana ny fitomboan'ny filàn'ny indostria maoderina. Na amin'ny elektronika, optoelektronika na fitaovana mandroso, ny teknolojia sputtering dia manohy mamolavola ny fomba famolavolana sy famokarana ny teknolojia ho avy.
Fotoana fandefasana: 15 Aogositra 2023