N'ihe gbasara itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị, teknụzụ sputtering aghọwo ụzọ a na-ejikarị eme ihe iji nweta ihe nkiri dị gịrịgịrị na nke dị otu n'ọtụtụ ụlọ ọrụ. Ọdịiche na ntụkwasị obi nke teknụzụ ndị a na-agbasa ngwa ha, na-enye ndị injinia na ndị nchọpụta ohere ịhazi ihe nkiri dị gịrịgịrị maka ebumnuche ụfọdụ. Na blọgụ a, anyị ga-eleba anya nke ọma n'ụdị teknụzụ sputtering dị iche iche a na-ejikarị eme ihe taa, na-akọwa njirimara pụrụ iche ha, uru na ojiji ha.
1. Ịgbapụ DC
Ịkpọ DC ọkụ bụ otu n'ime usoro nchekwa ihe nkiri dị gịrịgịrị kachasị mfe ma a na-ejikarị eme ihe. Usoro a gụnyere iji isi iyi ike DC mepụta ihe na-enwu enwu n'ebe ikuku gas dị ala. Ion dị mma na plasma na-atụba ihe a na-achọ, na-ewepụ atọm ma na-etinye ha na ihe ahụ. A maara ịgba DC ọkụ maka mfe ya, ịdị ọnụ ala, na ikike itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị dị elu n'ọtụtụ ihe dị iche iche, gụnyere iko, seramiiki, na ọla.
Ngwa nke DC sputtering:
- Mmepụta semiconductor
- Mkpuchi anya
- Mkpụrụ ndụ anyanwụ dị gịrịgịrị
2. Ugboro redio na Sputtering Reactive
Ịgbasa ugboro ugboro redio (RF) bụ ụdị RF nke na-enyere aka na ike RF nke ịgbasa DC. N'ụzọ a, a na-eji ion nke ike redio mepụtara na-agbawa ihe ahụ e zubere. Ọnụnọ nke ubi RF na-eme ka usoro ionization dịkwuo mma, na-enye ohere ka e nwee njikwa ziri ezi nke ihe nkiri ahụ. N'aka nke ọzọ, ịgbasa ihe na-emeghachi omume gụnyere itinye gas na-emeghachi omume, dị ka nitrogen ma ọ bụ oxygen, n'ime ụlọ ịgbasa. Nke a na-eme ka e nwee ihe nkiri dị gịrịgịrị nke ihe ndị mejupụtara, dị ka oxides ma ọ bụ nitrides, yana ihe ndị mejupụtara ya ka mma.
Ngwa nke RF na Sputtering Reactive:
- Mkpuchi mgbochi ntụgharị uche
- Ihe mgbochi semiconductor
- Ndị nduzi ebili mmiri anya
3. Ịkụnye magnetron
Ịdọpụ Magnetron bụ nhọrọ a ma ama maka itinye ihe dị elu. Teknụzụ a na-eji oghere magnet dị nso n'elu ihe a chọrọ iji mee ka njupụta plasma dịkwuo elu, na-eme ka arụmọrụ ionization dị elu na njikọta ihe nkiri dị gịrịgịrị dị mma. Oghere magnet ọzọ na-egbochi plasma dị nso na ihe a chọrọ iji, na-ebelata oriri ebumnuche ma e jiri ya tụnyere ụzọ ịgbapụ ihe nkịtị. Ịdọpụ Magnetron na-eme ka ọnụego itinye ihe dị elu na njirimara mkpuchi dị elu, na-eme ka ọ dị mma maka imepụta ihe buru ibu.
Ngwa nke ntụgharị magnetron:
- transistor ihe nkiri dị gịrịgịrị
- Ebe nchekwa magnetik
- Mkpuchi mma na iko na ígwè
4. Ịgbanye ion strawberry
Ịkpọpụta ihe ndị a na-akpọ ion beam sputtering (IBS) bụ usoro dị iche iche maka ịgbasa ihe ndị a na-achọ site na iji ion beam. IBS nwere ike ịchịkwa nke ọma, na-enye ohere ijikwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ nke ọma ma belata mfu ihe. Teknụzụ a na-eme ka nhazi ya dị mma ma nwee obere ọkwa mmetọ. Site na nha anya ya dị mma na ọtụtụ ihe ndị a na-achọ, IBS nwere ike imepụta ihe nkiri dị nro, nke na-enweghị ntụpọ, nke na-eme ka ọ dabara adaba maka ojiji pụrụ iche.
Ngwa nke Ion Beam Sputtering:
- Enyo X-ray
- Ihe nzacha anya
- Mgbochi iyi na obere ihe mkpuchi esemokwu
na ngwụcha
Ụwa nke teknụzụ sputtering dị oke ma dị iche iche, na-enye ndị injinia na ndị nchọpụta ọtụtụ ohere maka itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị. Ịmara ụdị usoro sputtering dị iche iche na ojiji ha dị mkpa iji nweta ihe onwunwe fim dị gịrịgịrị kachasị mma dịka ihe achọrọ si dị. Site na sputtering DC dị mfe ruo na sputtering ion beam kpọmkwem, usoro ọ bụla na-arụ ọrụ dị mkpa n'ọtụtụ ụlọ ọrụ, na-enye aka na mmepe nke teknụzụ kachasị ọhụrụ.
Site n'ịghọta mmepe kachasị ọhụrụ na teknụzụ sputtering, anyị nwere ike iji ike nke ihe nkiri dị gịrịgịrị mezuo ihe ndị na-eto eto nke ụlọ ọrụ ọgbara ọhụrụ chọrọ. Ma ọ bụ na eletrọniki, optoelectronics ma ọ bụ ihe ndị dị elu, teknụzụ sputtering na-aga n'ihu na-akpụzi ụzọ anyị si emepụta ma na-emepụta teknụzụ nke echi.
Oge ozi: Ọgọst-15-2023