I le matata o le fa'aputuina o ata manifinifi, ua avea le tekinolosi sputtering ma se metotia e fa'aaogaina lautele e ausia ai ni ata manifinifi sa'o ma tutusa i le tele o pisinisi. O le fetu'una'i ma le fa'atuatuaina o nei tekinolosi ua fa'alauteleina ai a latou fa'aoga, ma mafai ai e inisinia ma tagata su'esu'e ona fa'apitoa ni ata manifinifi mo ni fa'amoemoega fa'apitoa. I totonu o lenei pou i luga o le blog, o le a matou va'ava'ai toto'a i ituaiga eseese o tekinolosi sputtering e masani ona fa'aaogaina i aso nei, ma fa'amatalaina ai o latou uiga tulaga ese, fa'amanuiaga ma fa'aoga.
1. Fa'aosoina o le DC
O le DC sputtering o se tasi lea o metotia sili ona faigofie ma faʻaaogaina lautele mo le faʻapipiʻiina o ata manifinifi. O le faiga e aofia ai le faʻaaogaina o se puna eletise DC e faʻatupu ai se faʻasalalauina o le malamalama i se siosiomaga kesi maualalo le mamafa. O ions lelei i totonu o le plasma e osofaʻia le mea e faʻamoemoe i ai, faʻateʻa ese ai atoms ma faʻapipiʻi i luga o le substrate. Ua lauiloa le DC sputtering i lona faigofie, taugofie, ma le mafai ona faʻapipiʻi ata manifinifi maualuga i luga o le tele o substrates, e aofia ai tioata, seramika, ma uʻamea.
Fa'aoga o le DC sputtering:
- Gaosiga o semiconductor
- Ufiufi opitika
- Sela la manifinifi
2. Fa'asalalauga Fa'asalalau ma le Reactive Sputtering
O le fa'asalalauina o le Radio Frequency (RF) o se fa'aliliuga fesoasoani i le RF power o le DC sputtering. I lenei metotia, o le mea o lo'o fa'amoemoeina e fa'apipi'iina i ni ions e gaosia e le malosiaga o le radio frequency. O le i ai o se fanua RF e fa'aleleia atili ai le fa'agasologa o le ionization, ma mafai ai ona sili atu le pulea o le tuufaatasiga o le ata tifaga. O le reactive sputtering, i le isi itu, e aofia ai le fa'aofiina o se kesi reactive, e pei o le nitrogen po'o le oxygen, i totonu o le sputtering chamber. O lenei mea e mafai ai ona fausia ni ata manifinifi o mea fa'afefiloi, e pei o oxides po'o nitrides, fa'atasi ai ma meatotino fa'aleleia o meafaitino.
Fa'aoga o le RF ma le Reactive Sputtering:
- Ufiufi e tete'e atu i le atagia mai o mea
- Pa puipui o le semiconductor
- Taiala o galu opitika
3. Fa'aoso o le Magnetron
O le Magnetron sputtering o se filifiliga lauiloa mo le fa'aputuina maualuga. O lenei tekinolosi e fa'aaogaina ai se fanua maneta e lata ane i le fogāeleele o le sini e fa'ateleina ai le mamafa o le plasma, ma i'u ai i le maualuga o le lelei o le ionization ma le pipii lelei o le ata manifinifi. O le fanua maneta fa'aopoopo e fa'atapula'aina ai le plasma e latalata i le sini, ma fa'aitiitia ai le fa'aaogaina o le sini pe a fa'atusatusa i metotia masani o le sputtering. O le Magnetron sputtering e fa'amautinoa ai le maualuga o le fua faatatau o le fa'aputuina ma le sili atu ona lelei o le ufiufi, ma avea ai ma mea lelei mo le gaosiga tele.
Fa'aoga o le magnetron sputtering:
- transistor ata manifinifi
- Ala fa'asalalau teuina fa'amaneta
- Ufiufi teuteu i luga o tioata ma u'amea
4. Fa'aosoina o le ion beam
O le Ion beam sputtering (IBS) o se metotia e tele ona aoga mo le sputtering o meafaitino fa'atatau e fa'aaoga ai se ion beam. E matua faigofie ona pulea le IBS, e mafai ai ona pulea lelei le mafiafia o le ata tifaga ma fa'aitiitia ai le leiloa o meafaitino. O lenei tekinolosi e fa'amautinoa ai le sa'o o le tu'ufa'atasiga ma le maualalo o le fa'aleagaina. Faatasi ai ma lona tutusa lelei o ata tifaga ma le tele o filifiliga o meafaitino fa'atatau, e mafai e le IBS ona gaosia ni ata tifaga lamolemole, e leai ni fa'aletonu, ma avea ai ma mea talafeagai mo fa'aoga fa'apitoa.
Fa'aoga o le Ion Beam Sputtering:
- Fa'ata X-ray
- Fa'amama opitika
- Ufiufi e tete'e i le ofuina ma le fe'ese'esea'i e itiiti
i le faaiuga
E matuā tele ma eseese le lalolagi o tekinolosi sputtering, ma e tele avanoa e maua mai i inisinia ma tagata suʻesuʻe mo le faʻapipiʻiina o ata manifinifi. O le iloa o ituaiga eseese o metotia sputtering ma a latou faʻaoga e taua tele ina ia ausia ai meatotino sili ona lelei o ata manifinifi e tusa ai ma manaʻoga patino. Mai le DC sputtering faigofie i le ion beam sputtering saʻo, o metotia taʻitasi e taua tele i le tele o pisinisi, ma fesoasoani i le alualu i luma o tekinolosi faʻaonaponei.
I le malamalama i atina'e lata mai i tekinolosi sputtering, e mafai ona tatou fa'aogaina le mana o ata manifinifi e fa'afetaui ai mana'oga fa'atupula'ia o pisinisi fa'aonaponei. Pe o mea fa'aeletoronika, optoelectronics po'o mea fa'aonaponei, o lo'o fa'aauau pea ona fa'atulaga e le tekinolosi sputtering le auala tatou te mamanuina ma gaosia ai tekinolosi o taeao.
Taimi na lafoina ai: Aokuso-15-2023