ส่วนประกอบอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ

อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศเป็นเทคโนโลยีการเคลือบฟิล์มบางในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอิเล็กทรอนิกส์ ออปติก วิทยาศาสตร์วัสดุ พลังงาน และอื่นๆ อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศประกอบด้วยชิ้นส่วนหลักดังต่อไปนี้:

ห้องสูญญากาศ: นี่คือส่วนหลักของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ ซึ่งใช้ในกระบวนการเคลือบทั้งหมด ห้องสูญญากาศจะต้องสามารถทนต่อสภาพแวดล้อมสูญญากาศและรักษาการปิดผนึกที่ดีได้

ปั๊มสุญญากาศ: ใช้เพื่อดูดอากาศภายในห้องสุญญากาศเพื่อสร้างสภาพแวดล้อมสุญญากาศ ปั๊มสุญญากาศทั่วไปได้แก่ ปั๊มกลและปั๊มโมเลกุล

แหล่งการระเหย: ใช้ในการให้ความร้อนและระเหยวัสดุเคลือบ แหล่งการระเหยได้แก่ การให้ความร้อนด้วยความต้านทาน การให้ความร้อนด้วยลำแสงอิเล็กตรอน การให้ความร้อนด้วยเลเซอร์ เป็นต้น

กรอบการวาง (ตัวยึดพื้นผิว): ใช้สำหรับวางพื้นผิวที่จะเคลือบ ตัวยึดพื้นผิวสามารถหมุนหรือเคลื่อนย้ายได้เพื่อให้มั่นใจว่าพื้นผิวจะมีความสม่ำเสมอ

ระบบควบคุม: ใช้สำหรับควบคุมกระบวนการเคลือบทั้งหมด รวมถึงการเริ่มและหยุดปั๊มสุญญากาศ การควบคุมอุณหภูมิของแหล่งระเหย และการปรับอัตราการสะสม

อุปกรณ์วัดและติดตาม: ใช้ตรวจสอบพารามิเตอร์หลักในกระบวนการเคลือบแบบเรียลไทม์ เช่น ระดับสุญญากาศ อุณหภูมิ อัตราการสะสม ฯลฯ

ระบบจ่ายไฟฟ้า: เพื่อจ่ายไฟฟ้าตามความต้องการของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ

ระบบทำความเย็น: ใช้เพื่อทำความเย็นห้องสูญญากาศและส่วนประกอบที่สร้างความร้อนอื่นๆ เพื่อให้มั่นใจถึงการทำงานปกติของอุปกรณ์

การประสานงานที่มีประสิทธิภาพของส่วนประกอบเหล่านี้ทำให้อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศสามารถควบคุมความหนา องค์ประกอบ และโครงสร้างของฟิล์มได้อย่างแม่นยำ เพื่อตอบสนองความต้องการทางอุตสาหกรรมและวิทยาศาสตร์ที่หลากหลาย

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว