Системаи пӯшиши вакуумӣ технологияест, ки барои татбиқ кардани филми тунук ё рӯйпӯш ба рӯи муҳити вакуум истифода мешавад. Ин раванд пӯшиши баландсифат, якхела ва пойдорро таъмин мекунад, ки дар соҳаҳои мухталиф, аз қабили электроника, оптика, мошинсозӣ ва аэрокосмос муҳим аст. Намудҳои гуногуни системаҳои пӯшиши вакуумӣ мавҷуданд, ки ҳар яки онҳо барои барномаҳои мушаххас мувофиқанд. Инҳоянд чанд намуди асосӣ:
Ҷойгиркунии буғи ҷисмонӣ (PVD): Ин раванд интиқоли ҷисмонии маводро аз манбаи сахт ё моеъ ба субстрат дар бар мегирад. Усулҳои маъмул инҳоро дар бар мегиранд:
Парокандашавӣ: Мавод аз ҳадаф хориҷ карда мешавад ва дар зеризаминӣ ҷойгир карда мешавад.
Бухоршавӣ: Мавод то бухор шуданаш гарм карда мешавад ва сипас дар субстрат конденсат мешавад.
Ҷойгиркунии буғҳои кимиёвӣ (CVD): Ин раванд як реаксияи химиявии байни пешгузаштаи буғ ва сатҳи субстратро дар бар мегирад, ки як филми сахтро ташкил медиҳад. Вариантҳо дар бар мегиранд:
Plasma Enhanced CVD (PECVD): Плазмаро барои баланд бардоштани реаксияҳои химиявӣ истифода мебарад.
CVD Metal-Organic (MOCVD): Пайвастҳои металлӣ-органикиро ҳамчун прекурсорҳо истифода мебарад.
Депозитсияи қабати атомӣ (ALD): Раванди хеле назоратшаванда, ки қабатҳои атомиро дар як вақт ҷойгир мекунад ва ғафсӣ ва таркиби дақиқро таъмин мекунад.
Магнетрон пошидан: Як намуди PVD, ки дар он майдонҳои магнитӣ барои маҳдуд кардани плазма истифода мешаванд ва самаранокии раванди пошиданро баланд мебардоранд.
Ҷойгиркунии чӯби ионӣ: Барои пошидани мавод аз ҳадаф ва гузоштани он ба субстрат нурҳои иониро истифода мебарад.
Барномаҳо:
Нимноқилҳо: Сарпӯшҳо барои микрочипҳо ва ҷузъҳои электронӣ.
Оптика: рӯйпӯшҳои зидди инъикос, оинаҳо ва линзаҳо.
Автомобилӣ: Сарпӯшҳо барои ҷузъҳои муҳаррик ва ороиши ороишӣ.
Аэрокосмос: рӯйпӯшҳои монеаи гармидиҳӣ ва қабатҳои муҳофизатӣ.
Манфиатҳо:
Қабати якхела: ғафсӣ ва таркибро дар тамоми субстрат ба даст меорад.
Адгезияи баланд: Каптингҳо ба субстрат хуб часпида, устувориро зиёд мекунанд.
Покӣ ва сифат: Муҳити вакуумӣ ифлосшавиро коҳиш медиҳад, ки дар натиҷа рӯйпӯшҳои тозагии баланд пайдо мешаванд.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: июл-09-2024