సన్నని పొర పరికరాల నాణ్యతను ప్రభావితం చేసే ప్రక్రియ కారకాలు మరియు విధానాలు (భాగం 1)

ఆప్టికల్ థిన్ ఫిల్మ్ పరికరాల తయారీ వాక్యూమ్ చాంబర్‌లో జరుగుతుంది మరియు ఫిల్మ్ పొర పెరుగుదల ఒక సూక్ష్మదర్శిని ప్రక్రియ. అయితే, ప్రస్తుతం, నేరుగా నియంత్రించగల మాక్రోస్కోపిక్ ప్రక్రియలు ఫిల్మ్ పొర నాణ్యతతో పరోక్ష సంబంధాన్ని కలిగి ఉన్న కొన్ని మాక్రోస్కోపిక్ కారకాలు. అయినప్పటికీ, దీర్ఘకాలిక నిరంతర ప్రయోగాత్మక పరిశోధన ద్వారా, ఫిల్మ్ నాణ్యత మరియు ఈ మాక్రో కారకాల మధ్య సాధారణ సంబంధాన్ని ప్రజలు కనుగొన్నారు, ఇది ఫిల్మ్ ట్రావెల్ పరికరాల తయారీకి మార్గనిర్దేశం చేసే ప్రక్రియ వివరణగా మారింది మరియు అధిక-నాణ్యత ఆప్టికల్ థిన్ ఫిల్మ్ పరికరాల తయారీలో ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తుంది.

1. వాక్యూమ్ ప్లేటింగ్ ప్రభావం

ఫిల్మ్ యొక్క లక్షణాలపై వాక్యూమ్ డిగ్రీ ప్రభావం, అవశేష వాయువు మరియు ఫిల్మ్ అణువులు మరియు అణువుల మధ్య వాయు దశ ఢీకొనడం వల్ల కలిగే శక్తి నష్టం మరియు రసాయన ప్రతిచర్య కారణంగా ఉంటుంది. వాక్యూమ్ డిగ్రీ తక్కువగా ఉంటే, ఫిల్మ్ పదార్థం యొక్క ఆవిరి అణువులు మరియు మిగిలిన వాయు అణువుల మధ్య కలయిక సంభావ్యత పెరుగుతుంది మరియు ఆవిరి అణువుల గతిశక్తి బాగా తగ్గుతుంది, దీని వలన ఆవిరి అణువులు ఉపరితలాన్ని చేరుకోలేవు, లేదా ఉపరితలంపై ఉన్న వాయు శోషణ పొరను చీల్చుకోలేవు, లేదా వాయు శోషణ పొరను చీల్చుకోలేవు, కానీ ఉపరితలంతో అధిశోషణ శక్తి చాలా తక్కువగా ఉంటుంది. ఫలితంగా, ఆప్టికల్ సన్నని ఫిల్మ్ పరికరాల ద్వారా జమ చేయబడిన ఫిల్మ్ వదులుగా ఉంటుంది, సంచిత సాంద్రత తక్కువగా ఉంటుంది, యాంత్రిక బలం తక్కువగా ఉంటుంది, రసాయన కూర్పు స్వచ్ఛంగా ఉండదు మరియు ఫిల్మ్ పొర యొక్క వక్రీభవన సూచిక మరియు కాఠిన్యం పేలవంగా ఉంటాయి.

సాధారణంగా, వాక్యూమ్ పెరుగుదలతో, ఫిల్మ్ నిర్మాణం మెరుగుపడుతుంది, రసాయన కూర్పు స్వచ్ఛంగా మారుతుంది, కానీ ఒత్తిడి పెరుగుతుంది. మెటల్ ఫిల్మ్ మరియు సెమీకండక్టర్ ఫిల్మ్ యొక్క స్వచ్ఛత ఎంత ఎక్కువగా ఉంటే, అవి వాక్యూమ్ డిగ్రీపై ఆధారపడి ఉంటాయి, దీనికి అధిక ప్రత్యక్ష శూన్యం అవసరం. వాక్యూమ్ డిగ్రీ ద్వారా ప్రభావితమైన ఫిల్మ్‌ల యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు వక్రీభవన సూచిక, వికీర్ణం, యాంత్రిక బలం మరియు కరగనివి.
2. నిక్షేపణ రేటు ప్రభావం

నిక్షేపణ రేటు అనేది ఫిల్మ్ యొక్క నిక్షేపణ వేగాన్ని వివరించే ఒక ప్రక్రియ పరామితి, ఇది యూనిట్ సమయంలో ప్లేటింగ్ ఉపరితలంపై ఏర్పడిన ఫిల్మ్ యొక్క మందం ద్వారా వ్యక్తీకరించబడుతుంది మరియు యూనిట్ nm·s-1.

నిక్షేపణ రేటు ఫిల్మ్ యొక్క వక్రీభవన సూచిక, దృఢత్వం, యాంత్రిక బలం, సంశ్లేషణ మరియు ఒత్తిడిపై స్పష్టమైన ప్రభావాన్ని చూపుతుంది. నిక్షేపణ రేటు తక్కువగా ఉంటే, చాలా ఆవిరి అణువులు ఉపరితలం నుండి తిరిగి వస్తాయి, క్రిస్టల్ కేంద్రకాలు ఏర్పడటం నెమ్మదిగా ఉంటుంది మరియు సంగ్రహణ పెద్ద కంకరలపై మాత్రమే నిర్వహించబడుతుంది, తద్వారా ఫిల్మ్ నిర్మాణం వదులుగా ఉంటుంది. నిక్షేపణ రేటు పెరుగుదలతో, చక్కటి మరియు దట్టమైన ఫిల్మ్ ఏర్పడుతుంది, కాంతి పరిక్షేపణం తగ్గుతుంది మరియు దృఢత్వం పెరుగుతుంది. అందువల్ల, ఫిల్మ్ నిక్షేపణ రేటును ఎలా సరిగ్గా ఎంచుకోవాలో బాష్పీభవన ప్రక్రియలో ఒక ముఖ్యమైన సమస్య, మరియు నిర్దిష్ట ఎంపికను ఫిల్మ్ మెటీరియల్ ప్రకారం నిర్ణయించాలి.

నిక్షేపణ రేటును మెరుగుపరచడానికి రెండు పద్ధతులు ఉన్నాయి: (1) బాష్పీభవన మూల ఉష్ణోగ్రతను పెంచే పద్ధతి (2) బాష్పీభవన మూల వైశాల్యాన్ని పెంచే పద్ధతి.