ஒளியியல் மெல்லிய படல சாதனங்களின் உற்பத்தி ஒரு வெற்றிட அறையில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, மேலும் படல அடுக்கின் வளர்ச்சி ஒரு நுண்ணிய செயல்முறையாகும். இருப்பினும், தற்போது, நேரடியாகக் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய மேக்ரோஸ்கோபிக் செயல்முறைகள் பட அடுக்கின் தரத்துடன் மறைமுக உறவைக் கொண்ட சில மேக்ரோஸ்கோபிக் காரணிகளாகும். அப்படியிருந்தும், நீண்டகால தொடர்ச்சியான சோதனை ஆராய்ச்சி மூலம், படத் தரத்திற்கும் இந்த மேக்ரோ காரணிகளுக்கும் இடையிலான வழக்கமான உறவை மக்கள் கண்டறிந்துள்ளனர், இது படப் பயண சாதனங்களின் உற்பத்தியை வழிநடத்தும் செயல்முறை விவரக்குறிப்பாக மாறியுள்ளது, மேலும் உயர்தர ஒளியியல் மெல்லிய படல சாதனங்களை தயாரிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
1. வெற்றிட முலாம் பூசுவதன் விளைவு
படத்தின் பண்புகளில் வெற்றிடப் பட்டத்தின் செல்வாக்கு, எஞ்சிய வாயு மற்றும் பட அணுக்கள் மற்றும் மூலக்கூறுகளுக்கு இடையிலான வாயு கட்ட மோதலால் ஏற்படும் ஆற்றல் இழப்பு மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினை காரணமாகும். வெற்றிடப் பட்டம் குறைவாக இருந்தால், படப் பொருளின் நீராவி மூலக்கூறுகளுக்கும் மீதமுள்ள வாயு மூலக்கூறுகளுக்கும் இடையிலான இணைவு நிகழ்தகவு அதிகரிக்கிறது, மேலும் நீராவி மூலக்கூறுகளின் இயக்க ஆற்றல் வெகுவாகக் குறைக்கப்படுகிறது, இதனால் நீராவி மூலக்கூறுகள் அடி மூலக்கூறை அடைய முடியாமல் போகிறது, அல்லது அடி மூலக்கூறில் உள்ள வாயு உறிஞ்சுதல் அடுக்கை உடைக்க முடியாமல் போகிறது, அல்லது வாயு உறிஞ்சுதல் அடுக்கை உடைக்க முடியாமல் போகிறது, ஆனால் அடி மூலக்கூறுடன் உறிஞ்சுதல் ஆற்றல் மிகவும் சிறியது. இதன் விளைவாக, ஆப்டிகல் மெல்லிய பட சாதனங்களால் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படம் தளர்வானது, குவிப்பு அடர்த்தி குறைவாக உள்ளது, இயந்திர வலிமை மோசமாக உள்ளது, வேதியியல் கலவை தூய்மையாக இல்லை, மேலும் பட அடுக்கின் ஒளிவிலகல் குறியீடு மற்றும் கடினத்தன்மை மோசமாக உள்ளது.
பொதுவாக, வெற்றிடத்தின் அதிகரிப்புடன், படலத்தின் அமைப்பு மேம்படுகிறது, வேதியியல் கலவை தூய்மையாகிறது, ஆனால் அழுத்தம் அதிகரிக்கிறது. உலோகப் படலம் மற்றும் குறைக்கடத்தி படலத்தின் தூய்மை அதிகமாக இருந்தால், அவை வெற்றிடத்தின் அளவைப் பொறுத்தது, இதற்கு அதிக நேரடி வெற்றிடம் தேவைப்படுகிறது. வெற்றிட பட்டத்தால் பாதிக்கப்பட்ட படலங்களின் முக்கிய பண்புகள் ஒளிவிலகல் குறியீடு, சிதறல், இயந்திர வலிமை மற்றும் கரையாத தன்மை.
2. படிவு விகிதத்தின் தாக்கம்
படிவு விகிதம் என்பது படத்தின் படிவு வேகத்தை விவரிக்கும் ஒரு செயல்முறை அளவுருவாகும், இது அலகு நேரத்தில் முலாம் பூசலின் மேற்பரப்பில் உருவாகும் படத்தின் தடிமன் மூலம் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அலகு nm·s-1 ஆகும்.
படிவு விகிதம் படத்தின் ஒளிவிலகல் குறியீடு, உறுதித்தன்மை, இயந்திர வலிமை, ஒட்டுதல் மற்றும் அழுத்தம் ஆகியவற்றில் வெளிப்படையான செல்வாக்கைக் கொண்டுள்ளது. படிவு விகிதம் குறைவாக இருந்தால், பெரும்பாலான நீராவி மூலக்கூறுகள் அடி மூலக்கூறிலிருந்து திரும்பும், படிக கருக்களின் உருவாக்கம் மெதுவாக இருக்கும், மேலும் ஒடுக்கம் பெரிய திரட்டுகளில் மட்டுமே மேற்கொள்ளப்படும், இதனால் படத்தின் அமைப்பு தளர்வாகும். படிவு விகிதம் அதிகரிப்பதன் மூலம், ஒரு மெல்லிய மற்றும் அடர்த்தியான படலம் உருவாகும், ஒளி சிதறல் குறையும், உறுதித்தன்மை அதிகரிக்கும். எனவே, பட படிவு விகிதத்தை எவ்வாறு சரியாகத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது ஆவியாதல் செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கியமான பிரச்சினையாகும், மேலும் குறிப்பிட்ட தேர்வு படப் பொருளுக்கு ஏற்ப தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும்.
படிவு விகிதத்தை மேம்படுத்த இரண்டு முறைகள் உள்ளன: (1) ஆவியாதல் மூல வெப்பநிலையை அதிகரிக்கும் முறை (2) ஆவியாதல் மூல பரப்பளவை அதிகரிக்கும் முறை.
இடுகை நேரம்: மார்ச்-29-2024