Utengenezaji wa vifaa vya filamu nyembamba vya macho hufanyika kwenye chumba cha utupu, na ukuaji wa safu ya filamu ni mchakato wa microscopic. Hata hivyo, kwa sasa, michakato ya macroscopic ambayo inaweza kudhibitiwa moja kwa moja ni baadhi ya mambo ya macroscopic ambayo yana uhusiano usio wa moja kwa moja na ubora wa safu ya filamu. Hata hivyo, kupitia utafiti wa majaribio unaoendelea wa muda mrefu, watu wamegundua uhusiano wa mara kwa mara kati ya ubora wa filamu na vipengele hivi vikuu, ambao umekuwa uainishaji wa mchakato wa kuongoza utengenezaji wa vifaa vya kusafiri vya filamu, na una jukumu muhimu katika utengenezaji wa vifaa vya ubora wa juu vya filamu nyembamba ya macho.
1. Athari ya utupu wa utupu
Ushawishi wa kiwango cha utupu kwenye sifa za filamu ni kutokana na upotevu wa nishati na mmenyuko wa kemikali unaosababishwa na mgongano wa awamu ya gesi kati ya gesi iliyobaki na atomi za filamu na molekuli. Ikiwa kiwango cha utupu ni cha chini, uwezekano wa muunganisho kati ya molekuli za mvuke za nyenzo za filamu na molekuli za gesi zilizobaki huongezeka, na nishati ya kinetic ya molekuli za mvuke hupunguzwa sana, na kufanya molekuli za mvuke zishindwe kufikia substrate, au kushindwa kuvunja safu ya adsorption ya gesi kwenye substrate inayoweza kupasua au kuvunja safu ya gesi. nishati ya adsorption na substrate ni ndogo sana. Matokeo yake, filamu iliyowekwa na vifaa vya filamu nyembamba ya macho ni huru, wiani wa kusanyiko ni mdogo, nguvu ya mitambo ni duni, utungaji wa kemikali sio safi, na index ya refractive na ugumu wa safu ya filamu ni duni.
Kwa ujumla, pamoja na ongezeko la utupu, muundo wa filamu unaboreshwa, utungaji wa kemikali unakuwa safi, lakini dhiki huongezeka. Usafi wa juu wa filamu ya chuma na filamu ya semiconductor, ni bora zaidi, hutegemea kiwango cha utupu, ambayo inahitaji utupu wa juu wa moja kwa moja. Sifa kuu za filamu zilizoathiriwa na digrii ya utupu ni faharisi ya refractive, kutawanyika, nguvu za mitambo na kutomumunika.
2. Ushawishi wa kiwango cha uwekaji
Kiwango cha uwekaji ni kigezo cha mchakato kinachoelezea kasi ya utuaji wa filamu, inayoonyeshwa na unene wa filamu iliyoundwa kwenye uso wa uwekaji katika muda wa kitengo, na kitengo ni nm·s-1.
Kiwango cha utuaji kina ushawishi wa wazi kwenye fahirisi ya kuakisi, uimara, nguvu ya mitambo, mshikamano na mkazo wa filamu. Ikiwa kiwango cha uwekaji ni cha chini, molekuli nyingi za mvuke hurudi kutoka kwenye substrate, uundaji wa nuclei za kioo ni polepole, na condensation inaweza tu kufanywa kwa aggregates kubwa, na hivyo kufanya muundo wa filamu kuwa huru. Kwa ongezeko la kiwango cha uwekaji, filamu nzuri na mnene itaundwa, kutawanyika kwa mwanga kutapungua, na uimara utaongezeka. Kwa hiyo, jinsi ya kuchagua vizuri kiwango cha utuaji wa filamu ni suala muhimu katika mchakato wa uvukizi, na uteuzi maalum unapaswa kuamua kulingana na nyenzo za filamu.
Kuna mbinu mbili za kuboresha kiwango cha uwekaji: (1) kuongeza mbinu ya joto ya chanzo cha uvukizi (2) kuongeza mbinu ya eneo la chanzo cha uvukizi.
Muda wa posta: Mar-29-2024