Ho etsoa ha lisebelisoa tsa filimi tse tšesaane tsa optical ho etsoa ka phaposing ea vacuum, mme kholo ea lera la filimi ke ts'ebetso ea microscopic. Leha ho le joalo, hona joale, mekhoa ea macroscopic e ka laoloang ka ho toba ke lintlha tse ling tsa macroscopic tse nang le kamano e sa tobang le boleng ba lera la filimi. Leha ho le joalo, ka lipatlisiso tsa nako e telele tse phehellang tsa liteko, batho ba fumane kamano e tloaelehileng pakeng tsa boleng ba filimi le lintlha tsena tse kholo, tse fetohileng mokhoa o hlalosang mokhoa oa ho tataisa tlhahiso ea lisebelisoa tsa maeto a lifilimi, 'me o phetha karolo ea bohlokoa tlhahisong ea boleng bo phahameng ba lisebelisoa tsa filimi tse tšesaane tsa optical.
1. Phello ea vacuum plating
Tšusumetso ea tekanyo ea vacuum holim'a thepa ea filimi e bakoa ke tahlehelo ea matla le lik'hemik'hale tse bakoang ke ho thulana ha khase pakeng tsa khase e setseng le liathomo le limolek'hule tsa filimi. Haeba tekanyo ea vacuum e le tlase, monyetla oa ho kopana pakeng tsa limolek'hule tsa mouoane oa thepa ea filimi le limolek'hule tse setseng tsa khase lia eketseha, 'me matla a kinetic a limolek'hule tsa mouoane a fokotsehile haholo, a etsa hore limolek'hule tsa mouoane li se ke tsa fihla substrate, kapa li sitoa ho phunyeletsa lera la adsorption ea khase holim'a substrate e khonang ho pshatla lera, kapa matla a adsorption a nang le substrate a nyane haholo. Ka lebaka leo, filimi e kentsoeng ke lisebelisoa tsa optical tšesaane ea filimi e hlephileng, boima ba ho bokella bo tlaase, matla a mochine a fokola, motsoako oa lik'hemik'hale ha o hloekile, 'me index ea refractive le boima ba lera la filimi bo futsanehile.
Ka kakaretso, ka ho eketseha ha vacuum, sebopeho sa filimi se ntlafatsoa, motsoako oa lik'hemik'hale o fetoha o hloekileng, empa khatello ea kelello ea eketseha. E phahameng ho hloeka ha filimi ea tšepe le filimi ea semiconductor, ho molemo, ho itšetlehile ka tekanyo ea vacuum, e hlokang sekheo se phahameng se tobileng. Lintho tse ka sehloohong tsa lifilimi tse anngoeng ke tekanyo ea vacuum ke index ea refractive, ho hasana, matla a mochine le ho se qhibilihe.
2. Tšusumetso ea sekhahla sa deposition
Sekhahla sa deposition ke parameter ea ts'ebetso e hlalosang lebelo la ho beha filimi, le hlahisoang ke botenya ba filimi e entsoeng holim'a plating ka nako ea yuniti, 'me yuniti ke nm·s-1.
Sekhahla sa deposition se na le tšusumetso e hlakileng ho index ea refractive, ho tiea, matla a mochini, ho khomarela le khatello ea maikutlo ea filimi. Haeba tekanyo ea deposition e le tlase, boholo ba limolek'hule tsa mouoane li khutla ho tloha substrate, ho thehoa ha kristale nuclei ho lieha, 'me condensation e ka etsoa feela ka lihlopha tse kholo, kahoo e etsa hore sebopeho sa filimi se hlephile. Ka ho eketseha ha sekhahla sa deposition, filimi e ntle le e teteaneng e tla thehoa, ho hasana ha leseli ho tla fokotseha, 'me ho tiea ho tla eketseha. Ka hona, mokhoa oa ho khetha hantle sekhahla sa deposition ea filimi ke taba ea bohlokoa ts'ebetsong ea mouoane, 'me khetho e khethehileng e lokela ho khethoa ho latela thepa ea filimi.
Ho na le mekhoa e 'meli ea ho ntlafatsa sekhahla sa deposition: (1) ho eketsa mokhoa oa mocheso oa mohloli oa mouoane (2) ho eketsa mokhoa oa sebaka sa mohloli oa mouoane.
Nako ea poso: Mar-29-2024