Производња оптичких танкослојних уређаја се врши у вакуумској комори, а раст слоја филма је микроскопски процес. Међутим, тренутно, макроскопски процеси који се могу директно контролисати су неки макроскопски фактори који имају индиректну везу са квалитетом слоја филма. Упркос томе, кроз дугорочна и упорна експериментална истраживања, људи су пронашли закономерну везу између квалитета филма и ових макро фактора, што је постало спецификација процеса која води производњу уређаја за пренос филма и игра важну улогу у производњи висококвалитетних оптичких танкослојних уређаја.
1. Ефекат вакуумског наношења плоче
Утицај степена вакуума на својства филма је последица губитка енергије и хемијске реакције изазване сударом гасне фазе између преосталог гаса и атома и молекула филма. Ако је степен вакуума низак, вероватноћа фузије између молекула паре материјала филма и преосталих молекула гаса се повећава, а кинетичка енергија молекула паре се значајно смањује, што чини молекуле паре неспособним да досегну подлогу, или неспособним да пробију слој адсорпције гаса на подлози, или једва могу да пробију слој адсорпције гаса, али је енергија адсорпције са подлогом веома мала. Као резултат тога, филм нанет оптичким уређајима са танким филмом је растресит, густина акумулације је ниска, механичка чврстоћа је лоша, хемијски састав није чист, а индекс преламања и тврдоћа слоја филма су лоши.
Генерално, са повећањем вакуума, структура филма се побољшава, хемијски састав постаје чистији, али се напон повећава. Што је већа чистоћа металног филма и полупроводничког филма, то боље, они зависе од степена вакуума, што захтева већу директну шупљину. Главна својства филмова на која утиче степен вакуума су индекс преламања, расејање, механичка чврстоћа и нерастворљивост.
2. Утицај брзине таложења
Брзина таложења је параметар процеса који описује брзину таложења филма, изражену дебљином филма формираног на површини превлаке у јединици времена, а јединица је nm·s-1.
Брзина таложења има очигледан утицај на индекс преламања, чврстоћу, механичку чврстоћу, адхезију и напрезање филма. Ако је брзина таложења ниска, већина молекула паре се враћа са подлоге, формирање кристалних језгара је споро, а кондензација се може вршити само на великим агрегатима, што чини структуру филма растреситом. Са повећањем брзине таложења, формираће се фини и густи филм, расејање светлости ће се смањити, а чврстоћа ће се повећати. Стога је правилно одабир брзине таложења филма важно питање у процесу испаравања, а специфичан избор треба одредити у складу са материјалом филма.
Постоје две методе за побољшање брзине таложења: (1) метод повећања температуре извора испаравања (2) метод повећања површине извора испаравања.
Време објаве: 29. март 2024.