රික්තක ආලේපන පද්ධතියක් යනු රික්තක පරිසරයක මතුපිටකට තුනී පටලයක් හෝ ආලේපනයක් යෙදීමට භාවිතා කරන තාක්ෂණයකි. මෙම ක්රියාවලිය ඉලෙක්ට්රොනික, දෘෂ්ටි විද්යාව, මෝටර් රථ සහ අභ්යවකාශ වැනි විවිධ කර්මාන්තවල ඉතා වැදගත් වන උසස් තත්ත්වයේ, ඒකාකාර සහ කල් පවතින ආලේපනයක් සහතික කරයි. නිශ්චිත යෙදුම් සඳහා සුදුසු විවිධ වර්ගයේ රික්තක ආලේපන පද්ධති තිබේ. මෙන්න ප්රධාන වර්ග කිහිපයක්:
භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PVD): මෙම ක්රියාවලියට ඝන හෝ ද්රව ප්රභවයකින් උපස්ථරයට ද්රව්ය භෞතිකව මාරු කිරීම ඇතුළත් වේ. පොදු ක්රම අතරට:
ඉසීම: ද්රව්ය ඉලක්කයකින් පිටතට ගෙන උපස්ථරය මත තැන්පත් වේ.
වාෂ්පීකරණය: ද්රව්යය වාෂ්ප වන තෙක් රත් කර පසුව උපස්ථරය මත ඝනීභවනය වේ.
රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD): මෙම ක්රියාවලියට වාෂ්ප-අදියර පූර්වගාමියා සහ උපස්ථර මතුපිට අතර රසායනික ප්රතික්රියාවක් ඇතුළත් වන අතර එමඟින් ඝන පටලයක් සාදයි. ප්රභේදවලට ඇතුළත් වන්නේ:
ප්ලාස්මා-වැඩිදියුණු කළ CVD (PECVD): රසායනික ප්රතික්රියා වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ප්ලාස්මා භාවිතා කරයි.
ලෝහ-කාබනික CVD (MOCVD): පූර්වගාමීන් ලෙස ලෝහ-කාබනික සංයෝග භාවිතා කරයි.
පරමාණුක ස්ථර තැන්පත් කිරීම (ALD): නිරවද්ය ඝනකම සහ සංයුතිය සහතික කරමින්, පරමාණුක ස්ථර එකින් එක තැන්පත් කරන ඉතා පාලිත ක්රියාවලියකි.
මැග්නට්රෝන ස්පුටරින්: ප්ලාස්මා සීමා කිරීමට චුම්භක ක්ෂේත්ර භාවිතා කරන PVD වර්ගයකි, ස්පුටරින් ක්රියාවලියේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කරයි.
අයන කදම්භ තැන්පත් කිරීම: ඉලක්කයකින් ද්රව්ය ඉසිනය කර උපස්ථරය මත තැන්පත් කිරීමට අයන කදම්භ භාවිතා කරයි.
අයදුම්පත්:
අර්ධ සන්නායක: මයික්රොචිප් සහ ඉලෙක්ට්රොනික සංරචක සඳහා ආලේපන.
දෘෂ්ටි විද්යාව: ප්රති-පරාවර්තක ආලේපන, දර්පණ සහ කාච.
මෝටර් රථ: එන්ජින් සංරචක සහ අලංකාර නිමාවන් සඳහා ආලේපන.
අභ්යවකාශය: තාප බාධක ආලේපන සහ ආරක්ෂිත ස්ථර.
ප්රතිලාභ:
ඒකාකාර ආලේපන: උපස්ථරය පුරා ඒකාකාර ඝනකමක් සහ සංයුතියක් ලබා ගනී.
ඉහළ ඇලවීම: ආලේපන උපස්ථරයට හොඳින් ඇලී සිටින අතර කල්පැවැත්ම වැඩි කරයි.
සංශුද්ධතාවය සහ ගුණාත්මකභාවය: රික්තක පරිසරය දූෂණය අඩු කරන අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ආලේපන ලැබේ.
–මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කර ඇත්තේරික්ත ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයාGuangdong Zhenhua
පළ කිරීමේ කාලය: ජූලි-09-2024