د نظري پتلي فلم وسایلو جوړول په یوه خلا خونه کې ترسره کیږي، او د فلم طبقې وده یوه مایکروسکوپي پروسه ده. په هرصورت، اوس مهال، هغه میکروسکوپي پروسې چې په مستقیم ډول کنټرول کیدی شي ځینې میکروسکوپي عوامل دي چې د فلم طبقې کیفیت سره غیر مستقیم اړیکه لري. حتی، د اوږدې مودې دوامداره تجربوي څیړنو له لارې، خلکو د فلم کیفیت او د دې میکرو فکتورونو ترمنځ منظم اړیکه موندلې، کوم چې د فلم سفر وسیلو د تولید لارښود کولو لپاره د پروسې مشخصات ګرځیدلي، او د لوړ کیفیت نظري پتلي فلم وسیلو په جوړولو کې مهم رول لوبوي.
۱. د ویکیوم پلیټینګ اغیز
د فلم په ملکیتونو باندې د خلا درجې اغیزه د انرژۍ ضایع کیدو او کیمیاوي تعامل له امله ده چې د ګاز د پړاو د ټکر له امله د پاتې ګاز او فلم اتومونو او مالیکولونو ترمنځ رامینځته کیږي. که چیرې د خلا درجه ټیټه وي، د فلم موادو د بخار مالیکولونو او پاتې ګاز مالیکولونو ترمنځ د فیوژن احتمال ډیریږي، او د بخار مالیکولونو حرکي انرژي خورا کمیږي، چې د بخار مالیکولونه نشي کولی سبسټریټ ته ورسیږي، یا د سبسټریټ په ګاز جذب طبقه کې د ماتولو توان ونلري، یا په سختۍ سره د ګاز جذب طبقه له لارې ماتولو توان ولري مګر د سبسټریټ سره د جذب انرژي خورا کوچنۍ ده. په پایله کې، د آپټیکل پتلي فلم وسیلو لخوا زیرمه شوی فلم نرم دی، د راټولولو کثافت ټیټ دی، میخانیکي ځواک ضعیف دی، کیمیاوي جوړښت خالص نه دی، او د فلم طبقې انعکاس شاخص او سختۍ ضعیف دي.
عموما، د خلا د زیاتوالي سره، د فلم جوړښت ښه کیږي، کیمیاوي جوړښت خالص کیږي، مګر فشار زیاتیږي. د فلزي فلم او سیمیکمډکټر فلم پاکوالی څومره لوړ وي، هغومره ښه وي، دوی د خلا په درجې پورې اړه لري، کوم چې لوړ مستقیم خلا ته اړتیا لري. د خلا درجې لخوا اغیزمن شوي فلمونو اصلي ځانګړتیاوې انعکاسي شاخص، توزیع، میخانیکي ځواک او نه حل کیدنه دي.
۲. د زیرمو د اندازې اغیزه
د جمع کولو کچه د پروسې یو پیرامیټر دی چې د فلم د جمع کولو سرعت بیانوي، چې د پلیټینګ په سطحه د جوړ شوي فلم ضخامت لخوا په واحد وخت کې څرګندیږي، او واحد nm·s-1 دی.
د جمع کولو کچه د فلم د انعکاس شاخص، ټینګښت، میخانیکي ځواک، چپکولو او فشار باندې څرګنده اغیزه لري. که چیرې د جمع کولو کچه ټیټه وي، د بخار ډیری مالیکولونه د سبسټریټ څخه بیرته راځي، د کرسټال نیوکلی جوړیدل ورو وي، او کنډیشن یوازې په لویو مجموعو کې ترسره کیدی شي، پدې توګه د فلم جوړښت نرموي. د جمع کولو کچه زیاتوالي سره، یو ښه او کثافت فلم به جوړ شي، د رڼا خپریدل به کم شي، او ټینګښت به زیات شي. له همدې امله، د فلم جمع کولو کچه په سمه توګه غوره کولو څرنګوالی د تبخیر په پروسه کې یوه مهمه مسله ده، او ځانګړی انتخاب باید د فلم موادو سره سم وټاکل شي.
د زیرمو د کچې د ښه کولو لپاره دوه طریقې شتون لري: (۱) د تبخیر سرچینې د تودوخې د زیاتوالي طریقه (۲) د تبخیر سرچینې د ساحې د زیاتوالي طریقه.
د پوسټ وخت: مارچ-۲۹-۲۰۲۴