ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ପରିଚୟ

ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶରେ ଏକ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ କିମ୍ବା ଆବରଣ ପ୍ରୟୋଗ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା, ସମାନ ଏବଂ ସ୍ଥାୟୀ ଆବରଣ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଯାହା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଅପ୍ଟିକ୍ସ, ଅଟୋମୋଟିଭ୍ ଏବଂ ଏରୋସ୍ପେସ୍ ଭଳି ବିଭିନ୍ନ ଶିଳ୍ପରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ଅଛି, ପ୍ରତ୍ୟେକଟି ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ। ଏଠାରେ କିଛି ପ୍ରମୁଖ ପ୍ରକାର ଅଛି:
ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(PVD): ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ କଠିନ କିମ୍ବା ତରଳ ଉତ୍ସରୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟକୁ ସାମଗ୍ରୀର ଭୌତିକ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ସାଧାରଣ ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:

କ୍ଷତବିକ୍ଷତ: ସାମଗ୍ରୀକୁ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳରୁ ବାହାର କରି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ରଖାଯାଇଥାଏ।
ବାଷ୍ପୀଭବନ: ସାମଗ୍ରୀକୁ ବାଷ୍ପୀଭବନ ହେବା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଗରମ କରାଯାଏ ଏବଂ ତା’ପରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଘନୀଭୂତ ହୁଏ।
ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(CVD): ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଏକ ବାଷ୍ପ-ପ୍ରାୟ ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠ ମଧ୍ୟରେ ଏକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଯାହା ଏକ କଠିନ ଫିଲ୍ମ ଗଠନ କରେ। ପ୍ରକାରଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:

ପ୍ଲାଜ୍ମା-ଉନ୍ନତ CVD (PECVD): ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ପ୍ଲାଜ୍ମା ବ୍ୟବହାର କରେ।
ଧାତୁ-ଜୈବ CVD (MOCVD): ଧାତୁ-ଜୈବ ଯୌଗିକକୁ ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରେ।
ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଜମା (ALD): ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯାହା ପରମାଣୁ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକୁ ଗୋଟିଏ ପରେ ଗୋଟିଏ ଜମା କରେ, ଯାହା ସଠିକ ଘନତା ଏବଂ ଗଠନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।

ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ: ଏକ ପ୍ରକାରର PVD ଯେଉଁଠାରେ ପ୍ଲାଜମାକୁ ସୀମିତ କରିବା ପାଇଁ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଯାହା ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଦକ୍ଷତା ବୃଦ୍ଧି କରେ।

ଆୟନ ବିମ୍ ଜମା: ଟାର୍ଗେଟରୁ ସାମଗ୍ରୀ ବାହାର କରି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ଆୟନ ବିମ୍ ବ୍ୟବହାର କରେ।

ପ୍ରୟୋଗ:

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ: ମାଇକ୍ରୋଚିପ୍ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପାଦାନ ପାଇଁ ଆବରଣ।
ଆଲୋକ ବିଜ୍ଞାନ: ପ୍ରତିଫଳନ-ପ୍ରତିଫଳନ ବିରୋଧୀ ଆବରଣ, ଦର୍ପଣ ଏବଂ ଲେନ୍ସ।
ଅଟୋମୋଟିଭ୍: ଇଞ୍ଜିନ୍ ଉପାଦାନ ଏବଂ ସାଜସଜ୍ଜା ସମାପ୍ତି ପାଇଁ ଆବରଣ।
ଅନ୍ତରୀକ୍ଷ: ତାପଜ ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ଆବରଣ ଏବଂ ସୁରକ୍ଷା ସ୍ତର।
ଲାଭ:

ସମାନ ଆବରଣ: ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍‌ରେ ସ୍ଥିର ଘନତା ଏବଂ ଗଠନ ହାସଲ କରେ।
ଅଧିକ ଆପେସନ: ଆବରଣଗୁଡ଼ିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ଭଲ ଭାବରେ ଲାଗି ରହିଥାଏ, ଯାହା ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ବୃଦ୍ଧି କରେ।
ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା: ଶୂନ୍ୟ ପରିବେଶ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ହ୍ରାସ କରେ, ଯାହା ଫଳରେ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆବରଣ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ।

–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |