Magnetron sputtering optical in-line vacuum coating systems များသည် ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များကို အလွှာအမျိုးမျိုးသို့ အပ်နှံရန် အသုံးပြုသည့် အဆင့်မြင့်နည်းပညာဖြစ်ပြီး optics၊ electronics နှင့် material science ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းများတွင် အသုံးများသည်။ အောက်တွင်ဖော်ပြထားသောအသေးစိတ်သုံးသပ်ချက်ဖြစ်ပါသည်။
အစိတ်အပိုင်းများနှင့် အင်္ဂါရပ်များ-
1. magnetron sputter အရင်းအမြစ်-
မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆရှိသော ပလာစမာကိုထုတ်လုပ်ရန် Magnetron ကိုအသုံးပြုသည်။
ပစ်မှတ်ပစ္စည်း (ရင်းမြစ်) ကို အိုင်းယွန်းများဖြင့် တရစပ် ဖြိုခွဲကာ အက်တမ်များကို ထုတ်လွှတ်ခြင်း ( sputtered ) နှင့် အောက်စထရိများ ပေါ်သို့ အစုအပြုံလိုက် ရောက်ရှိလာသည်။
magnetron သည် DC၊ pulsed DC သို့မဟုတ် RF (ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်း) လည်ပတ်မှု အတွက် sputtered လုပ်ထားသော ပစ္စည်းပေါ် မူတည်၍ ဒီဇိုင်းထုတ်နိုင်သည်။
2. လိုင်းစနစ်-
အလွှာကို အပေါ်ယံခန်းမှတဆင့် အဆက်မပြတ် သို့မဟုတ် အဆင့်ဆင့် ရွှေ့သည်။
မြင့်မားသော ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ကြီးမားသော ဧရိယာများကို တူညီသောအပေါ်ယံပိုင်းကို ခွင့်ပြုသည်။
ပုံမှန်အားဖြင့် ဖန်၊ ပလပ်စတစ် သို့မဟုတ် သတ္တုပြားများကို လိပ်မှလှိမ့်ရန် သို့မဟုတ် ပြားချပ်ချပ်ပြုလုပ်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည်။
3. ဖုန်စုပ်ခန်း-
sputtering လွယ်ကူချောမွေ့စေရန် ထိန်းချုပ်ထားသော လေဖိအားနည်းရပ်ဝန်းကို ထိန်းသိမ်းပါ။
- ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ပေးပြီး အပ်နှံထားသော ရုပ်ရှင်များ၏ မြင့်မားသော သန့်စင်မှုကို သေချာစေသည်။
- အများအားဖြင့် အလွှာများကို သယ်ဆောင်ခြင်းနှင့် ဖယ်ရှားခြင်းများတွင် လေထုအခြေအနေနှင့် ထိတွေ့မှုကို လျှော့ချရန် ဝန်သော့များ တပ်ဆင်ထားသည်။
4. optical coating စွမ်းရည်-
- အလင်းပြန်မှုဆန့်ကျင်သောအလွှာများ၊ မှန်များ၊ စစ်ထုတ်မှုများနှင့် အလင်းတန်းခွဲထုတ်ခြင်းများကဲ့သို့သော optical coatings များကို ထုတ်လုပ်ရန် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။
- ဖလင်အထူနှင့် တူညီမှုကို တိကျစွာ ထိန်းချုပ်နိုင်သည်၊ ၎င်းသည် optical အပလီကေးရှင်းများအတွက် အရေးကြီးသည်။
5. လုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှုစနစ်များ-
- ပါဝါ၊ ဖိအားနှင့် အလွှာအမြန်နှုန်းကဲ့သို့သော ကန့်သတ်ဘောင်များကို ထိန်းချုပ်ရန်အတွက် အဆင့်မြင့်စောင့်ကြည့်ခြင်းနှင့် တုံ့ပြန်မှုစနစ်များ။
- အရည်အသွေးနှင့် လိုက်လျောညီထွေရှိစေရန် အစစ်ခံစဉ်အတွင်း ရုပ်ရှင်ဂုဏ်သတ္တိများကို တိုင်းတာရန်အတွက် ဆိုက်အတွင်း စစ်ဆေးမှု။
အပလီကေးရှင်းများ
1. Optics-
- စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် မှန်ဘီလူးများ၊ မှန်များနှင့် အခြား optical အစိတ်အပိုင်းများကို ဖုံးအုပ်ထားသည်။
- အနှောင့်အယှက် filter များနှင့် အခြားသော ရှုပ်ထွေးသော optical devices များအတွက် multilayer coatings ကို ထုတ်လုပ်သည်။
2. အီလက်ထရွန်းနစ်
- ပါးလွှာသော ဖလင်ထရန်စစ္စတာများ၊ အာရုံခံကိရိယာများနှင့် အခြားသော အီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်းများ။
- ဖန်သားပြင်များနှင့် ထိတွေ့မျက်နှာပြင်များအတွက် ဖောက်ထွင်းမြင်ရသောအလွှာများ။ ၃။
3. ဆိုလာပြားများ
- ထိရောက်မှု ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်အတွက် Anti-reflective နှင့် conductive coatings များ။
- တာရှည်ခံစေရန် ထုပ်ပိုးထားသော အလွှာများ။
4. အလှဆင်အလွှာများ
- လက်ဝတ်ရတနာများ၊ နာရီများနှင့် အခြားပစ္စည်းများကို အလှအပရေးရာအတွက် အလှဆင်ခြင်း။
အားသာချက်များ
1. မြင့်မားသောတိကျမှု-
- အထူနှင့် ဖွဲ့စည်းမှုကို တိကျသော ထိန်းချုပ်မှုဖြင့် ယူနီဖောင်းနှင့် ထပ်ခါတလဲလဲ ထပ်ခါတလဲလဲ အုပ်ပေးသည်။ ၂။
2. အတိုင်းအတာ-
- အသေးစားသုတေသနနှင့် အကြီးစားစက်မှုလုပ်ငန်း ထုတ်လုပ်မှုအတွက် သင့်လျော်သည်။ ၃။
3. စွယ်စုံရ-
- သတ္တုများ၊ အောက်ဆိုဒ်များ၊ နိုက်ထရိုက်များနှင့် ပေါင်းစပ်ဒြပ်ပေါင်းများ အပါအဝင် မြောက်များစွာသော ပစ္စည်းများကို အပ်နှံသည်။
4. ထိရောက်မှု-
- In-line စနစ်များသည် စဉ်ဆက်မပြတ် စီမံဆောင်ရွက်ပေးရန်၊ စက်ရပ်ချိန်ကို လျှော့ချရန်နှင့် ဖြတ်သန်းမှု တိုးလာစေသည်။
စာတိုက်အချိန်- ဇွန်လ ၂၉-၂၀၂၄