ລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດແບບ optical ໃນສາຍແບບ Magnetron sputtering ເປັນເຕັກໂນໂລຊີທີ່ກ້າວໜ້າທີ່ໃຊ້ໃນການວາງຟິມບາງໆໃສ່ວັດສະດຸຕ່າງໆ, ເຊິ່ງມັກຖືກນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆເຊັ່ນ: ທັດສະນະ, ເອເລັກໂຕຣນິກ ແລະ ວິທະຍາສາດວັດສະດຸ. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນພາບລວມລະອຽດ:
ສ່ວນປະກອບ ແລະ ຄຸນສົມບັດຕ່າງໆ:
1. ແຫຼ່ງສະເປຣດເຕີແມກນີຕຣອນ:
ແມກນີຕຣອນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຜະລິດພລາສມາທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ.
ວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ (ແຫຼ່ງທີ່ມາ) ຖືກລະເບີດດ້ວຍໄອອອນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ອະຕອມຖືກພົ່ນອອກ (ສີດ) ແລະ ວາງລົງເທິງຊັ້ນຮອງ.
ແມກນີຕຣອນສາມາດຖືກອອກແບບມາສຳລັບການເຮັດວຽກແບບ DC, ແບບກຳມະຈອນ DC, ຫຼື RF (ຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ), ຂຶ້ນກັບວັດສະດຸທີ່ຖືກສີດ.
2. ລະບົບໃນສາຍ:
ຊັ້ນຮອງພື້ນຖືກຍ້າຍໄປຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ຫຼື ຄ່ອຍໆຜ່ານຫ້ອງເຄືອບ.
ຊ່ວຍໃຫ້ການຜະລິດມີປະລິມານສູງ ແລະ ການເຄືອບເປັນເອກະພາບໃນພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່.
ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວໃຊ້ເພື່ອເຄືອບແກ້ວ, ພາດສະຕິກ ຫຼື ແຜ່ນໂລຫະໃນຂະບວນການມ້ວນຕໍ່ມ້ວນ ຫຼື ແປ.
3. ຫ້ອງສູນຍາກາດ:
ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນຕ່ຳທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ເພື່ອອຳນວຍຄວາມສະດວກໃນການສີດພົ່ນ.
- ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ ແລະ ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງຟິມທີ່ຕົກຄ້າງ.
- ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະມີຕົວລັອກການໂຫຼດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການສຳຜັດກັບສະພາບອາກາດໃນລະຫວ່າງການໂຫຼດ ແລະ ການຂົນລົງຂອງວັດສະດຸ.
4. ຄວາມສາມາດໃນການເຄືອບແສງ:
- ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອຜະລິດການເຄືອບແສງເຊັ່ນ: ການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນ, ກະຈົກ, ຕົວກອງ ແລະ ຕົວແຍກລຳແສງ.
- ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມຄວາມໜາ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຟິມໄດ້ຢ່າງຊັດເຈນ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການນຳໃຊ້ທາງດ້ານແສງ.
5. ລະບົບຄວບຄຸມຂະບວນການ:
- ລະບົບຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ຄຳຕິຊົມຂັ້ນສູງ ສຳລັບການຄວບຄຸມຕົວກຳນົດຕ່າງໆ ເຊັ່ນ: ພະລັງງານ, ຄວາມດັນ ແລະ ຄວາມໄວຂອງວັດສະດຸ.
- ການວິນິດໄສຢູ່ໃນສະຖານທີ່ເພື່ອວັດແທກຄຸນສົມບັດຂອງຟິມໃນລະຫວ່າງການວາງຊັ້ນເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງ.
ແອັບພລິເຄຊັນ:
1. ທັດສະນະສາດ:
- ເຄືອບເລນ, ກະຈົກ ແລະ ອົງປະກອບທາງສາຍຕາອື່ນໆເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບ.
- ຜະລິດການເຄືອບຫຼາຍຊັ້ນສຳລັບຕົວກອງການແຊກແຊງ ແລະ ອຸປະກອນທາງ optical ອື່ນໆທີ່ສັບສົນ.
2. ເອເລັກໂຕຣນິກ:
- ທຣານຊິດເຕີຟິມບາງ, ເຊັນເຊີ ແລະ ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກອື່ນໆ.
- ເຄືອບນຳໄຟຟ້າທີ່ໂປ່ງໃສສຳລັບຈໍສະແດງຜົນ ແລະ ໜ້າຈໍສຳຜັດ. 3.
3. ແຜງພະລັງງານແສງຕາເວັນ:
- ເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນແສງ ແລະ ສານນຳໄຟຟ້າເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບ.
- ຊັ້ນຫຸ້ມຫໍ່ເພື່ອຄວາມທົນທານ.
4. ການເຄືອບຕົກແຕ່ງ:
- ເຄືອບເຄື່ອງປະດັບ, ໂມງ ແລະ ສິ່ງຂອງອື່ນໆເພື່ອຄວາມງາມ.
ຂໍ້ດີ:
1. ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ:
- ໃຫ້ການເຄືອບທີ່ເປັນເອກະພາບ ແລະ ເຮັດຊ້ຳໆໄດ້ ພ້ອມການຄວບຄຸມຄວາມໜາ ແລະ ສ່ວນປະກອບໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ.
2. ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍ:
- ເໝາະສົມສຳລັບການຄົ້ນຄວ້າຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ການຜະລິດອຸດສາຫະກຳຂະໜາດໃຫຍ່. 3.
3. ຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ:
- ສະສົມວັດສະດຸຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ລວມທັງໂລຫະ, ອົກໄຊ, ໄນໄຕຣດ ແລະ ສານປະກອບປະສົມ.
4. ປະສິດທິພາບ:
- ລະບົບໃນສາຍຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດປະມວນຜົນໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາທີ່ຢຸດເຮັດວຽກ ແລະ ເພີ່ມຜົນຜະລິດ.
ເວລາໂພສ: ມິຖຸນາ-29-2024