Магнетрондук чачыратуу оптикалык линия ичиндеги вакуумдук каптоо системалары ар кандай субстраттарга жука пленкаларды жайгаштыруу үчүн колдонулган өнүккөн технология болуп саналат жана алар оптика, электроника жана материал таануу сыяктуу тармактарда кеңири колдонулат. Төмөндө кеңири сереп келтирилген:
Компоненттери жана функциялары:
1. магнетрондук чачыратуу булагы:
Магнетрон жогорку тыгыздыктагы плазманы алуу үчүн колдонулат.
Максаттуу материал (булак) иондор менен бомбаланат, натыйжада атомдор бөлүнүп чыгып (чачырап), субстратка чөкмөлөнөт.
Магнетрон чачыратылып жаткан материалга жараша туруктуу, импульстук туруктуу же радио жыштыктагы (RF) иштөө үчүн иштелип чыгышы мүмкүн.
2. Онлайн система:
Субстрат каптоо камерасы аркылуу үзгүлтүксүз же акырындык менен жылдырылат.
Жогорку өндүрүмдүүлүктү камсыз кылат жана чоң аянттарды бирдей каптайт.
Адатта, айнек, пластик же металл барактарды рулондон рулонго же жалпак катмарлуу процесстерде каптоо үчүн колдонулат.
3. вакуумдук камера:
Чачыранды жеңилдетүү үчүн башкарылуучу төмөнкү басым чөйрөсүн колдойт.
- булгануунун алдын алат жана чөкмө пленкалардын жогорку тазалыгын камсыз кылат.
- Адатта, субстрат жүктөө жана түшүрүү учурунда атмосфералык шарттарга дуушар болууну азайтуу үчүн жүк кулпулары менен жабдылган.
4. оптикалык каптоо мүмкүнчүлүктөрү:
- Чагылдырбоочу каптоолор, күзгүлөр, чыпкалар жана нур бөлгүчтөр сыяктуу оптикалык каптоолорду өндүрүү үчүн атайын иштелип чыккан.
- Оптикалык колдонмолор үчүн абдан маанилүү болгон пленканын калыңдыгын жана бирдейлигин так көзөмөлдөөгө мүмкүндүк берет.
5. процесстерди башкаруу системалары:
- Кубаттуулук, басым жана субстраттын ылдамдыгы сыяктуу параметрлерди башкаруу үчүн өркүндөтүлгөн мониторинг жана кайтарым байланыш системалары.
- Сапатты жана ырааттуулукту камсыз кылуу үчүн чөктүрүү учурунда пленканын касиеттерин өлчөө үчүн жер-жерлерде диагностика жүргүзүү.
Колдонмолор:
1. Оптика:
- Иштин натыйжалуулугун жогорулатуу үчүн линзаларды, күзгүлөрдү жана башка оптикалык компоненттерди каптоо.
- Интерференциялык чыпкалар жана башка татаал оптикалык түзүлүштөр үчүн көп катмарлуу каптоолорду чыгарат.
2. Электроника:
- Жука пленкалуу транзисторлор, сенсорлор жана башка электрондук түзүлүштөр.
- Дисплейлер жана сенсордук экрандар үчүн тунук өткөргүч каптамалар. 3.
3. күн батареялары:
- Натыйжалуулукту жогорулатуу үчүн чагылдыруучу жана өткөрүүчү каптамалар.
- Бышыктыгы үчүн капсулаланган катмарлар.
4. декоративдик каптамалар:
- Эстетикалык максаттар үчүн зер буюмдарын, сааттарды жана башка буюмдарды каптоо.
Артыкчылыктары:
1. Жогорку тактык:
- Калыңдыгын жана курамын так көзөмөлдөө менен бир калыпта жана кайталануучу каптоону камсыз кылат. 2.
2. Масштабдоо:
- Чакан масштабдагы изилдөөлөр жана ири өнөр жай өндүрүшү үчүн ылайыктуу. 3.
3. Көп функциялуулугу:
- Металлдарды, оксиддерди, нитриддерди жана курама кошулмаларды камтыган ар кандай материалдарды кенге айлантат.
4. Натыйжалуулук:
- Сап ичиндеги системалар үзгүлтүксүз иштетүүгө мүмкүндүк берет, токтоп калуу убактысын кыскартат жана өндүрүмдүүлүктү жогорулатат.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 29-июну