Магнетрон цацалтын оптик шугаман вакуум бүрхүүлийн систем нь оптик, электроник, материалын шинжлэх ухаан зэрэг салбарт түгээмэл хэрэглэгддэг янз бүрийн суурь дээр нимгэн хальс түрхэхэд ашигладаг дэвшилтэт технологи юм. Доорх дэлгэрэнгүй тоймыг энд оруулав.
Бүрэлдэхүүн хэсгүүд ба онцлогууд:
1. магнетрон цацалтын эх үүсвэр:
Өндөр нягтралтай плазм үүсгэхийн тулд магнетрон ашигладаг.
Бай материал (эх үүсвэр)-ийг ионоор бөмбөгдөж, улмаар атомууд ялгарч (цацаж), суурь дээр хуримтлагддаг.
Магнетроныг цацаж буй материалаас хамааран тогтмол гүйдлийн, импульсийн тогтмол гүйдлийн эсвэл RF (радио давтамжийн) ажиллагаанд зориулж зохион бүтээж болно.
2. Шугаман систем:
Субстрат нь бүрэх камераар тасралтгүй эсвэл аажмаар хөдөлдөг.
Өндөр бүтээмжтэй үйлдвэрлэл, том талбайг жигд бүрэх боломжийг олгодог.
Ихэвчлэн шил, хуванцар эсвэл металл хуудсыг өнхрүүлэн эсвэл хавтгай хэлбэрээр бүрэхэд ашигладаг.
3. вакуум камер:
Цацраах ажиллагааг хөнгөвчлөхийн тулд хяналттай нам даралтын орчныг хадгалдаг.
- Бохирдлоос сэргийлж, хуримтлагдсан хальсны өндөр цэвэршилтийг хангана.
- Субстратыг ачих, буулгах үед агаар мандлын нөхцөлд өртөхийг багасгахын тулд ихэвчлэн ачааллын түгжээтэй байдаг.
4. оптик бүрхүүлийн чадвар:
- Гэрэл тусгалгүй бүрхүүл, толь, шүүлтүүр, цацраг хуваагч зэрэг оптик бүрхүүл үйлдвэрлэх зориулалттай тусгайлан бүтээгдсэн.
- Оптик хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой хальсны зузаан болон жигд байдлыг нарийн хянах боломжийг олгодог.
5. үйл явцын хяналтын системүүд:
- Хүч, даралт болон суурийн хурд зэрэг параметрүүдийг хянах дэвшилтэт хяналт, санал хүсэлтийн системүүд.
- Чанар болон тууштай байдлыг хангахын тулд хальсны шинж чанарыг хэмжих зорилгоор газар дээр нь оношилгоо хийх.
Хэрэглээ:
1. Оптик:
- Гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд линз, толь болон бусад оптик эд ангиудыг бүрэх.
- Интерференцийн шүүлтүүр болон бусад нарийн төвөгтэй оптик төхөөрөмжүүдэд зориулсан олон давхаргат бүрхүүл үйлдвэрлэдэг.
2. Электроник:
- Нимгэн хальсан транзистор, мэдрэгч болон бусад электрон төхөөрөмжүүд.
- Дэлгэц болон мэдрэгчтэй дэлгэцэнд зориулсан тунгалаг дамжуулагч бүрхүүл. 3.
3. нарны хавтан:
- Үр ашгийг сайжруулахын тулд гэрэл тусгалаас хамгаалсан болон дамжуулагч бүрхүүл.
- Бат бөх чанарыг хангахын тулд битүүмжилсэн давхаргууд.
4. гоёл чимэглэлийн бүрээс:
- Гоо зүйн зорилгоор үнэт эдлэл, цаг болон бусад эд зүйлсийг бүрэх.
Давуу талууд:
1. Өндөр нарийвчлал:
- Зузаан болон найрлагыг нарийн хянаж, жигд, давтагдах боломжтой бүрхүүлийг бий болгоно. 2.
2. Өргөтгөх боломжтой байдал:
- Жижиг хэмжээний судалгаа болон томоохон хэмжээний аж үйлдвэрийн үйлдвэрлэлд тохиромжтой. 3.
3. Олон талт байдал:
- Металл, исэл, нитрид болон нийлмэл нэгдлүүд зэрэг олон төрлийн материалыг тунадасжуулдаг.
4. Үр ашиг:
- Шугаман системүүд нь тасралтгүй боловсруулалт хийх, зогсолтын хугацааг багасгах, бүтээмжийг нэмэгдүүлэх боломжийг олгодог.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 6-р сарын 29