Sistemụ mkpuchi oghere dị n'ime eriri magnetron sputtering bụ teknụzụ dị elu eji etinye ihe nkiri dị gịrịgịrị n'elu ọtụtụ ihe ndị dị n'ime ala, a na-ejikarị ha eme ihe n'ụlọ ọrụ dịka optics, eletrọnịkị na sayensị ihe. Ihe ndị a bụ nkọwa zuru ezu:
Akụkụ na atụmatụ:
1. isi iyi magnetron sputter:
A na-eji magnetron emepụta plasma dị elu.
A na-eji ion amụnye ihe e ji mee ihe (isi iyi) ahụ, nke na-eme ka a na-ewepụta atọm (gbasaa) ma tinye ha n'elu ihe ahụ.
Enwere ike ime magnetron ahụ maka DC, DC pulsed, ma ọ bụ RF (redio frequency), dabere na ihe a na-agbapụta.
2. Sistemụ dị n'ime:
A na-ebugharị ihe mkpuchi ahụ mgbe niile ma ọ bụ na-aga n'ihu site na ụlọ mkpuchi ahụ.
Na-enye ohere mmepụta dị elu na mkpuchi otu ebe nke nnukwu ebe.
A na-ejikarị ya ekpuchi mpempe akwụkwọ iko, plastik ma ọ bụ ígwè na usoro mpịakọta-site-na-roll ma ọ bụ nke dị larịị.
3. ụlọ ikuku:
Na-edobe gburugburu ebe a na-achịkwa nrụgide dị ala iji mee ka sputter dị mfe.
- Na-egbochi mmetọ ma na-ahụ na ihe nkiri ndị e tinyere n'ime ha dị ọcha nke ukwuu.
- A na-ejikarị mkpọchi ibu iji belata ikpughe na ọnọdụ ikuku n'oge ibu na ibupu ihe ndị dị n'okpuru ala.
4. ikike mkpuchi anya:
- Emebere ya kpọmkwem iji mepụta mkpuchi anya dịka mkpuchi na-egbochi ntụgharị uche, enyo, nzacha, na ihe ndị na-ekewapụ ìhè.
- Na-enye ohere ijikwa ọkpụrụkpụ na ịdị n'otu nke ihe nkiri ahụ nke ọma, nke dị oke mkpa maka ngwa anya.
5. sistemụ njikwa usoro:
- Sistemụ nlekota na nzaghachi dị elu maka njikwa paramita dịka ike, nrụgide na ọsọ substrate.
- Nchọpụta ihe onyonyo n'ebe a na-arụ ọrụ iji tụọ ihe onyonyo ahụ n'oge a na-etinye ya iji hụ na ọ dị mma ma dịkwa n'otu.
Ngwa:
1. Ngwa anya:
- Ikpuchi anya, enyo na ihe ndị ọzọ dị na anya iji melite arụmọrụ.
- Na-emepụta mkpuchi ọtụtụ oyi akwa maka nzacha nnyonye anya na ngwaọrụ anya ndị ọzọ dị mgbagwoju anya.
2. Ngwaọrụ Eletrọniki:
- Transistors fim dị gịrịgịrị, ihe mmetụta na ngwaọrụ eletrọniki ndị ọzọ.
- Mkpuchi na-eduzi ihe ngosi na ihuenyo mmetụ aka doro anya. 3.
3. panel anyanwụ:
- Mkpuchi mgbochi na-egbukepụ egbukepụ na nke na-eduzi maka ịrụ ọrụ nke ọma.
- Akwa mkpuchi e ji kpuchie maka ịdịte aka.
4. ihe mkpuchi mma:
- Ikpuchi ihe ịchọ mma, elekere na ihe ndị ọzọ maka ihe ịchọ mma.
Uru:
1. Nkọcha Dị Elu:
- Na-enye mkpuchi otu na nke a na-emegharị ugboro ugboro yana njikwa ziri ezi nke ọkpụrụkpụ na nhazi. 2.
2. Ịhazi:
- Ọ dabara adaba maka obere nnyocha na nnukwu mmepụta ụlọ ọrụ mmepụta ihe. 3.
3. Ịdị iche iche:
- Na-etinye ọtụtụ ihe dị iche iche, gụnyere ọla, oxides, nitrides na ihe ndị mejupụtara ya.
4. Ịrụ ọrụ nke ọma:
- Sistemụ dị n'ime-n'ahịrị na-enye ohere maka nhazi na-aga n'ihu, na-ebelata oge nkwụsị ma na-amụba mmepụta.
Oge ozi: Jun-29-2024