Gịnị bụ sputtering ngwa anya in-line vacuum mkpuchi sistemụ

Sistemụ mkpuchi oghere dị n'ime eriri magnetron sputtering bụ teknụzụ dị elu eji etinye ihe nkiri dị gịrịgịrị n'elu ọtụtụ ihe ndị dị n'ime ala, enwere ọtụtụ ihe eji eme ihe n'ụlọ ọrụ dịka optics, eletrọnịkị na sayensị ihe. Ihe ndị a bụ nkọwa zuru ezu:

Akụkụ na atụmatụ:
1. isi iyi magnetron sputter:
A na-eji magnetron emepụta plasma dị elu.
A na-eji ion amụnye ihe e ji mee ihe (isi iyi) ahụ, nke na-eme ka a na-ewepụta atọm (gbasaa) ma tinye ha n'elu ihe ahụ.
Enwere ike ime magnetron ahụ maka DC, DC pulsed, ma ọ bụ RF (redio frequency), dabere na ihe a na-agbapụta.
2. Sistemụ dị n'ime:
A na-ebugharị ihe mkpuchi ahụ mgbe niile ma ọ bụ na-aga n'ihu site na ụlọ mkpuchi ahụ.
Na-enye ohere mmepụta dị elu na mkpuchi otu ebe nke nnukwu ebe.
A na-ejikarị ya ekpuchi mpempe akwụkwọ iko, plastik ma ọ bụ ígwè na usoro mpịakọta-site-na-roll ma ọ bụ nke dị larịị.

3. ụlọ ikuku:
Na-edobe gburugburu ebe a na-achịkwa nrụgide dị ala iji mee ka sputter dị mfe.
- Na-egbochi mmetọ ma na-ahụ na ihe nkiri ndị e tinyere n'ime ha dị ọcha nke ukwuu.
- A na-ejikarị mkpọchi ibu iji belata ikpughe na ọnọdụ ikuku n'oge ibu na ibupu ihe ndị dị n'okpuru ala.

4. ikike mkpuchi anya:
- Emebere ya kpọmkwem iji mepụta mkpuchi anya dịka mkpuchi na-egbochi ntụgharị uche, enyo, nzacha, na ihe ndị na-ekewapụ ìhè.
- Na-enye ohere ijikwa ọkpụrụkpụ na ịdị n'otu nke ihe nkiri ahụ nke ọma, nke dị oke mkpa maka ngwa anya.

5. sistemụ njikwa usoro:
- Sistemụ nlekota na nzaghachi dị elu maka njikwa paramita dịka ike, nrụgide na ọsọ substrate.
- Nchọpụta ihe onyonyo n'ebe a na-arụ ọrụ iji tụọ ihe onyonyo ahụ n'oge a na-etinye ya iji hụ na ọ dị mma ma dịkwa n'otu.
Ngwa:
1. Ngwa anya:
- Ikpuchi anya, enyo na ihe ndị ọzọ dị na anya iji melite arụmọrụ.
- Na-emepụta mkpuchi ọtụtụ oyi akwa maka nzacha nnyonye anya na ngwaọrụ anya ndị ọzọ dị mgbagwoju anya.
2. Ngwaọrụ Eletrọniki:
- Transistors fim dị gịrịgịrị, ihe mmetụta na ngwaọrụ eletrọniki ndị ọzọ.
- Mkpuchi na-eduzi ihe ngosi na ihuenyo mmetụ aka doro anya. 3.
3. panel anyanwụ:
- Mkpuchi mgbochi na-egbukepụ egbukepụ na nke na-eduzi maka ịrụ ọrụ nke ọma.
- Akwa mkpuchi e ji kpuchie maka ịdịte aka.
4. ihe mkpuchi mma:
- Ikpuchi ihe ịchọ mma, elekere na ihe ndị ọzọ maka ihe ịchọ mma.
Uru:
1. Nkọcha Dị Elu:
- Na-enye mkpuchi otu na nke a na-emegharị ugboro ugboro yana njikwa ziri ezi nke ọkpụrụkpụ na nhazi. 2.
2. Ịhazi:
- Ọ dabara adaba maka obere nnyocha na nnukwu mmepụta ụlọ ọrụ mmepụta ihe. 3.
3. Ịdị iche iche:
- Na-etinye ọtụtụ ihe dị iche iche, gụnyere ọla, oxides, nitrides na ihe ndị mejupụtara ya.
4. Ịrụ ọrụ nke ọma:
- Sistemụ dị n'ime-n'ahịrị na-enye ohere maka nhazi na-aga n'ihu, na-ebelata oge nkwụsị ma na-amụba mmepụta.