Магнетронды шашырату оптикалық вакуумдық жабын жүйелері - оптика, электроника және материалтану сияқты салаларда кеңінен қолданылатын әртүрлі негіздерге жұқа қабықшаларды жағу үшін қолданылатын озық технология. Төменде егжей-тегжейлі шолу берілген:
Құрамдас бөліктері мен мүмкіндіктері:
1. магнетронды шашыратқыш көзі:
Магнетрон жоғары тығыздықтағы плазманы алу үшін қолданылады.
Нысана материалы (көз) иондармен бомбаланады, нәтижесінде атомдар лақтырылып (шашырап), субстратқа тұндырылады.
Магнетрон шашыратылатын материалға байланысты тұрақты ток, импульсті тұрақты ток немесе радиожиілік (РЖ) жұмысына арналған болуы мүмкін.
2. Желідегі жүйе:
Негіз жабын камерасы арқылы үздіксіз немесе біртіндеп қозғалады.
Үлкен аумақтарды біркелкі жабуға және жоғары өнімділікпен өндіруге мүмкіндік береді.
Әдетте шыны, пластик немесе металл парақтарды орамнан орамға немесе жалпақ қабатты процестерде жабу үшін қолданылады.
3. вакуумдық камера:
Шашыратуды жеңілдету үшін бақыланатын төмен қысымды ортаны сақтайды.
- Ластанудың алдын алады және тұндырылған қабықшалардың жоғары тазалығын қамтамасыз етеді.
- Әдетте субстратты тиеу және түсіру кезінде атмосфералық жағдайларға ұшырауды азайту үшін жүктеме құлыптарымен жабдықталған.
4. оптикалық жабын мүмкіндіктері:
- Шағылыстырмайтын жабындар, айна, сүзгілер және сәуле бөлгіштер сияқты оптикалық жабындарды өндіру үшін арнайы жасалған.
- Оптикалық қолданбалар үшін өте маңызды болып табылатын пленка қалыңдығы мен біркелкілігін дәл бақылауға мүмкіндік береді.
5. процестерді басқару жүйелері:
- Қуат, қысым және субстрат жылдамдығы сияқты параметрлерді басқаруға арналған кеңейтілген мониторинг және кері байланыс жүйелері.
- Сапасы мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін тұндыру кезінде пленка қасиеттерін өлшеуге арналған жергілікті диагностика.
Қолданбалар:
1. Оптика:
- Өнімділікті жақсарту үшін линзаларды, айналарды және басқа оптикалық компоненттерді жабыңыз.
- Интерференциялық сүзгілер мен басқа да күрделі оптикалық құрылғыларға арналған көп қабатты жабындар шығарады.
2. Электроника:
- Жұқа пленкалы транзисторлар, сенсорлар және басқа да электрондық құрылғылар.
- Дисплейлер мен сенсорлық экрандарға арналған мөлдір өткізгіш жабындар. 3.
3. күн батареялары:
- Тиімділікті арттыру үшін шағылыстырмайтын және өткізгіш жабындар.
- Беріктік үшін қапталған қабаттар.
4. сәндік жабындар:
- Эстетикалық мақсаттар үшін зергерлік бұйымдарды, сағаттарды және басқа да заттарды бояу.
Артықшылықтары:
1. Жоғары дәлдік:
- Қалыңдығы мен құрамын дәл бақылау арқылы біркелкі және қайталанатын жабынды қамтамасыз етеді. 2.
2. Масштабталу:
- Шағын көлемді зерттеулер мен ірі өнеркәсіптік өндіріс үшін жарамды. 3.
3. Әмбебаптылық:
- Металдар, оксидтер, нитридтер және композиттік қосылыстар сияқты әртүрлі материалдарды тұндырады.
4. Тиімділік:
- Желі ішіндегі жүйелер үздіксіз өңдеуге мүмкіндік береді, жұмыс уақытын қысқартады және өнімділікті арттырады.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 29 маусым