Magnetron püskürtme optiki liniýadaky wakuum örtük ulgamlary dürli substratlara inçe plyonkalary goýmak üçin ulanylýan ösen tehnologiýa bolup, olar optika, elektronika we materialşynaslyk ýaly pudaklarda giňden ulanylýar. Aşakda jikme-jik syn berilýär:
Komponentler we aýratynlyklar:
1. magnetron püskürtme çeşmesi:
Magnetron ýokary dykyzlykly plazma döretmek üçin ulanylýar.
Nyşana material (çeşme) ionlar bilen bombardman edilýär, netijede atomlar zyňylýar (sepilýär) we substratyň üstüne ýerleşdirilýär.
Magnetron, püskürdilýän materiala baglylykda, DC, impulsly DC ýa-da RF (radio ýygylygy) işlemegi üçin dizaýn edilip bilner.
2. Içerki ulgam:
Substrat örtük kamerasyndan yzygiderli ýa-da progressiw hereket edýär.
Ýokary öndürijilikli önümçiligi we uly meýdanlary birmeňzeş örtmegi üpjün edýär.
Adatça, rulondan rulona ýa-da tekiz gatlakly proseslerde aýna, plastik ýa-da metal listleri örtmek üçin ulanylýar.
3. wakuum kamerasy:
Püskürtmegi ýeňilleşdirmek üçin gözegçilikli pes basyşly gurşawy saklaýar.
- Hapalanmagyň öňüni alýar we çökündi plýonkalaryň ýokary arassalygyny üpjün edýär.
- Adatça substrat ýüklenýän we düşürilýän wagtynda atmosfera şertlerine täsiri azaltmak üçin ýük gulplary bilen enjamlaşdyrylan.
4. optiki örtük mümkinçilikleri:
- Aýnalar, süzgüçler we şöhle bölüjiler ýaly optiki örtükleri öndürmek üçin ýörite dizaýn edilen.
- Optiki ulanylyşlar üçin örän möhüm bolan plýonkanyň galyňlygyny we deňligini takyk gözegçilikde saklamaga mümkinçilik berýär.
5. prosesleri dolandyrmak ulgamlary:
- Güýç, basyş we substrat tizligi ýaly parametrleri dolandyrmak üçin ösen gözegçilik we pikir alyşma ulgamlary.
- Hili we yzygiderliligi üpjün etmek üçin çökdürme wagtynda plýonkanyň häsiýetlerini ölçemek üçin ýerinde diagnostika.
Ulanyşlar:
1. Optika:
- Işleýşi gowulandyrmak üçin linzalary, aýnalary we beýleki optiki bölekleri örtmek.
- Interferensiýa süzgüçleri we beýleki çylşyrymly optik enjamlar üçin köp gatlakly örtükleri öndürýär.
2. Elektronika:
- Inçe plýonkaly tranzistorlar, sensorlar we beýleki elektron enjamlar.
- Displeýler we sensor ekranlar üçin açyk geçiriji örtükler. 3.
3. gün panelleri:
- Netijeliligi ýokarlandyrmak üçin şöhle şöhlelendirmeýän we geçiriji örtükler.
- Çydamlylyk üçin kapsulalanan gatlaklar.
4. bezeg örtükleri:
- Estetik maksatlar üçin şaý-sepleri, sagatlary we beýleki zatlary örtmek.
Artykmaçlyklary:
1. Ýokary takyklyk:
- Galyňlygy we düzümi takyk gözegçilikde saklamak bilen birmeňzeş we gaýtalanýan örtügi üpjün edýär. 2.
2. Ölçegleniş mümkinçiligi:
- Kiçi göwrümli ylmy-barlag işleri we uly göwrümli senagat önümçiligi üçin amatly. 3.
3. Köpugurlylyk:
- Metallar, oksidler, nitridler we kompozit birleşmeler ýaly dürli materiallary çökündirýär.
4. Netijelilik:
- Içerki ulgamlar üznüksiz işleme mümkinçiligini berýär, işden çykma wagtyny azaldýar we öndürijiligi ýokarlandyrýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 29-njy iýuny