Магнетрон сиптерү оптик линия эчендәге вакуум каплау системалары - төрле субстратларга юка пленкалар урнаштыру өчен кулланыла торган алдынгы технология, алар гадәттә оптика, электроника һәм материаллар фәне кебек тармакларда кулланыла. Түбәндә җентекле күзәтү бирелгән:
Компонентлар һәм үзенчәлекләр:
1. магнетрон сиптерү чыганагы:
Югары тыгызлыктагы плазма алу өчен магнетрон кулланыла.
Максат материалы (чыганак) ионнар белән бомбага тотыла, нәтиҗәдә атомнар чыгарыла (сибелә) һәм субстратка утыра.
Магнетрон, сиптерелә торган материалга карап, даими ток, импульслы даими ток яки радиоешлыклы ток белән эшләү өчен эшләнгән булырга мөмкин.
2. Онлайн система:
Субстрат каплау камерасы аша өзлексез яки прогрессив рәвештә хәрәкәтләнә.
Зур мәйданнарны югары җитештерүчәнлеккә һәм тигез каплауга мөмкинлек бирә.
Гадәттә пыяла, пластик яки металл битләрне рулоннан рулонга яки яссы катламга каплау өчен кулланыла.
3. вакуум камерасы:
Сиптерүне җиңеләйтү өчен контрольдә тотылган түбән басымлы мохитне саклый.
- Пычрануны булдырмый һәм утыртылган пленкаларның югары сафлыгын тәэмин итә.
- Гадәттә, субстратны йөкләү һәм бушату вакытында атмосфера шартларына дучар булуны минимальләштерү өчен йөкләү йозаклары белән җиһазландырылган.
4. оптик каплау мөмкинлекләре:
- Чыгарылышка каршы капламалар, көзгеләр, фильтрлар һәм нур бүлгечләр кебек оптик капламалар җитештерү өчен махсус эшләнгән.
- Пленка калынлыгын һәм бердәмлеген төгәл контрольдә тотарга мөмкинлек бирә, бу оптик кушымталар өчен бик мөһим.
5. процессларны контрольдә тоту системалары:
- Көч, басым һәм субстрат тизлеге кебек параметрларны контрольдә тоту өчен алдынгы мониторинг һәм кире элемтә системалары.
- Сыйфатны һәм тотрыклылыкны тәэмин итү өчен пленка үзенчәлекләрен урнаштыру вакытында үлчәү өчен урында диагностика.
Кушымталар:
1. Оптика:
- Эшчәнлекне яхшырту өчен линзаларны, көзгеләрне һәм башка оптик компонентларны каплау.
- Интерференция фильтрлары һәм башка катлаулы оптик җайланмалар өчен күп катламлы капламалар җитештерә.
2. Электроника:
- Юкка пленкалы транзисторлар, сенсорлар һәм башка электрон җайланмалар.
- Дисплейлар һәм сенсорлы экраннар өчен үтә күренмәле үткәргеч капламалар. 3.
3. кояш панельләре:
- Нәтиҗәлелекне арттыру өчен чагылышка каршы һәм үткәргеч капламалар.
- Чыдамлык өчен капсулаланган катламнар.
4. декоратив капламалар:
- Эстетик максатларда бизәнү әйберләрен, сәгатьләрне һәм башка әйберләрне каплау.
Өстенлекләре:
1. Югары төгәллек:
- Калынлыкны һәм составны төгәл контрольдә тоту белән бердәм һәм кабатланырлык каплау тәэмин итә. 2.
2. Масштаблау мөмкинлеге:
- Кечкенә күләмле тикшеренүләр һәм зур күләмле сәнәгать җитештерүе өчен яраклы. 3.
3. Күпкырлылык:
- Металлар, оксидлар, нитридлар һәм композит кушылмалар кебек төрле материалларны урнаштыра.
4. Нәтиҗәлелек:
- Инлайн системалар өзлексез эшкәртү мөмкинлеген бирә, эш тукталышларын киметә һәм җитештерүчәнлекне арттыра.
Бастырылган вакыты: 2024 елның 29 июне