Magnetronli purkash optik ichki vakuumli qoplama tizimlari turli xil substratlarga yupqa plyonkalarni qo'llash uchun ishlatiladigan ilg'or texnologiya bo'lib, ular optika, elektronika va materialshunoslik kabi sohalarda keng qo'llaniladi. Quyida batafsil ma'lumot berilgan:
Komponentlar va xususiyatlar:
1. magnetronli purkash manbai:
Magnetron yuqori zichlikdagi plazma hosil qilish uchun ishlatiladi.
Nishon material (manba) ionlar bilan bombardimon qilinadi, natijada atomlar otilib chiqadi (purkaladi) va substratga cho'kadi.
Magnetron purkalayotgan materialga qarab, doimiy tok, impulsli doimiy tok yoki RF (radio chastotasi) ishlashi uchun mo'ljallangan bo'lishi mumkin.
2. Onlayn tizim:
Substrat qoplama kamerasi orqali doimiy yoki progressiv ravishda harakatlanadi.
Yuqori mahsuldorlikdagi ishlab chiqarish va katta maydonlarni bir tekis qoplash imkonini beradi.
Odatda rulondan rulonga yoki tekis qatlamli jarayonlarda shisha, plastmassa yoki metall plitalarni qoplash uchun ishlatiladi.
3. vakuum kamerasi:
Chayqalishni osonlashtirish uchun boshqariladigan past bosimli muhitni saqlaydi.
- Ifloslanishning oldini oladi va cho'ktirilgan plyonkalarning yuqori darajada tozaligini ta'minlaydi.
- Odatda substratni yuklash va tushirish paytida atmosfera sharoitlariga ta'sir qilishni minimallashtirish uchun yuk qulflari bilan jihozlangan.
4. optik qoplama imkoniyatlari:
- Ayniqsa, aks ettiruvchi qoplamalar, oynalar, filtrlar va nur ajratgichlar kabi optik qoplamalar ishlab chiqarish uchun mo'ljallangan.
- Optik ilovalar uchun juda muhim bo'lgan plyonka qalinligi va bir xilligini aniq boshqarish imkonini beradi.
5. jarayonlarni boshqarish tizimlari:
- Quvvat, bosim va substrat tezligi kabi parametrlarni boshqarish uchun ilg'or monitoring va fikr-mulohaza tizimlari.
- Sifat va izchillikni ta'minlash uchun cho'ktirish paytida plyonka xususiyatlarini o'lchash uchun joyida diagnostika.
Ilovalar:
1. Optika:
- Ishlashni yaxshilash uchun linzalar, oynalar va boshqa optik komponentlarni qoplash.
- Interferensiya filtrlari va boshqa murakkab optik qurilmalar uchun ko'p qatlamli qoplamalar ishlab chiqaradi.
2. Elektronika:
- Yupqa plyonkali tranzistorlar, sensorlar va boshqa elektron qurilmalar.
- Displeylar va sensorli ekranlar uchun shaffof o'tkazuvchan qoplamalar. 3.
3. quyosh panellari:
- Samaradorlikni oshirish uchun aks ettiruvchi va o'tkazuvchan qoplamalar.
- Chidamlilik uchun kapsulali qatlamlar.
4. dekorativ qoplamalar:
- Estetik maqsadlar uchun zargarlik buyumlari, soatlar va boshqa buyumlarni qoplash.
Afzalliklari:
1. Yuqori aniqlik:
- Qalinligi va tarkibini aniq nazorat qilish bilan bir xil va takrorlanadigan qoplamani ta'minlaydi. 2.
2. Masshtablash mumkinligi:
- Kichik miqyosdagi tadqiqotlar va yirik sanoat ishlab chiqarishi uchun mos. 3.
3. Ko'p qirralilik:
- Metalllar, oksidlar, nitridlar va kompozit birikmalar kabi turli xil materiallarni cho'ktiradi.
4. Samaradorlik:
- In-line tizimlari uzluksiz ishlov berish, ishlamay qolish vaqtini kamaytirish va o'tkazish qobiliyatini oshirish imkonini beradi.
Nashr vaqti: 2024-yil 29-iyun