Nidaamyada dahaarka faakuumka ee indhaha ee Magnetron sputtering waa tiknoolajiyad casri ah oo loo isticmaalo in lagu shubo filimaan khafiif ah oo ku yaal noocyo kala duwan oo substrate ah, waxaa si caadi ah loogu isticmaalaa warshadaha sida indhaha, elektaroonigga iyo sayniska agabka. Hoos waxaa ku qoran dulmar faahfaahsan:
Qaybaha iyo sifooyinka:
1. isha daloolinta magnetron:
Magnetron waxaa loo isticmaalaa in lagu soo saaro plasma cufnaan sare leh.
Walxaha bartilmaameedka ah (ilaha) waxaa lagu duqeeyaa aayoon, taasoo keenta in atamka la soo saaro (la buufiyo) oo lagu shubo substrate-ka.
Magnetron-ka waxaa loogu talagalay hawlgalka DC, DC-ga garaaca, ama RF (raadiyaha inta jeer), iyadoo ku xiran walaxda la buufiyo.
2. Nidaamka khadka tooska ah:
Substrate-ka si joogto ah ama si tartiib tartiib ah ayaa loo dhaqaajiyaa iyada oo loo marayo qolka dahaadhka.
Waxay u oggolaanaysaa wax soo saar sare iyo dahaadh isku mid ah oo meelo waaweyn ah.
Caadi ahaan waxaa loo isticmaalaa in lagu dahaadho muraayadaha, balaastikada ama biraha xaashida ah ee loo yaqaan "roll-to-roll" ama "flatbed bed".
3. qolka faakiyuumka:
Waxay ilaalisaa jawi cadaadis hooseeya oo la xakameeyey si loo fududeeyo faafinta.
- Waxay ka hortagtaa wasakhowga waxayna hubisaa daahirnimo sare oo filimada la dhigo.
- Badanaa waxaa lagu qalabeeyaa qufulo culays si loo yareeyo soo-gaadhista xaaladaha jawiga inta lagu jiro rarista iyo dejinta substrate-ka.
4. awoodaha dahaarka indhaha:
- Si gaar ah loogu talagalay in lagu soo saaro dahaadh indhaha ah sida dahaadh ka-hortagga milicsiga, muraayadaha, shaandheeyayaasha, iyo qaybaha kala-goysyada.
- Waxay u oggolaanaysaa xakamaynta saxda ah ee dhumucda filimka iyo isku-midnimada, taas oo muhiim u ah codsiyada indhaha.
5. nidaamyada xakamaynta habka:
- Nidaamyada kormeerka iyo jawaab celinta ee horumarsan ee xakamaynta xuduudaha sida awoodda, cadaadiska iyo xawaaraha substrate-ka.
- Baadhista goobta si loo cabbiro sifooyinka filimka inta lagu jiro kaydinta si loo hubiyo tayada iyo joogtaynta.
Codsiyada:
1. Indhaha:
- Muraayadaha dahaarka leh, muraayadaha iyo qaybaha kale ee indhaha si loo hagaajiyo waxqabadka.
- Waxay soo saartaa dahaadh lakab badan leh oo loogu talagalay shaandheeyayaasha faragelinta iyo aaladaha kale ee indhaha ee adag.
2. Elektaroonikada:
- Transistors-ka filimka khafiifka ah, dareemayaasha iyo aaladaha kale ee elektaroonigga ah.
- Dahaadh hufan oo loogu talagalay bandhigyada iyo shaashadaha taabashada. 3.
3. muraayadaha qorraxda:
- Dahaarka ka hortagga milicsiga iyo kan gudbiya si loo hagaajiyo hufnaanta.
- Lakabyo ku duuban si loo waaro.
4. dahaarka qurxinta:
- Dahaarka dahabka, saacadaha iyo walxaha kale si loogu qurxiyo.
Faa'iidooyinka:
1. Saxnaanta Sare:
- Waxay bixisaa dahaadh isku mid ah oo soo noqnoqon kara oo leh xakameyn sax ah oo dhumucda iyo halabuurka ah. 2.
2. Ballaarinta:
- Ku habboon cilmi-baarista yar yar iyo wax-soo-saarka warshadaha ee baaxadda weyn. 3.
3. Kala duwanaansho:
- Waxay kaydisaa walxo kala duwan, oo ay ku jiraan biraha, oksaydhyada, nitrides iyo isku-dhafka isku-dhafan.
4. Hufnaan:
- Nidaamyada khadka tooska ah waxay u oggolaanayaan habayn joogto ah, yareynta waqtiga shaqada oo yaraata iyo kordhinta wax soo saarka.
Waqtiga boostada: Juun-29-2024