Àwọn ètò ìbòrí ìbòrí Magnetron sputtering optical in-line jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ tó ti ní ìlọsíwájú tí a ń lò láti fi àwọn fíìmù tín-tín sí oríṣiríṣi àwọn ohun èlò, a sì sábà máa ń lò wọ́n nínú àwọn ilé iṣẹ́ bíi optics, electronics àti materials science. Àkótán àlàyé díẹ̀ nìyí:
Awọn ẹya ara ẹrọ ati awọn ẹya ara ẹrọ:
1. orisun magnetron sputter:
A nlo magnetron lati ṣe agbejade plasma iwuwo giga kan.
A fi àwọn ion bo ohun èlò tí a fẹ́ (orísun) náà, èyí tí yóò mú kí àwọn átọ̀mù jáde (tú jáde) kí a sì fi wọ́n sínú ilẹ̀ náà.
A le ṣe apẹẹrẹ magnetron fun iṣẹ DC, DC ti a ti pulsed, tabi RF (igbohunsafẹfẹ redio), da lori ohun elo ti a fi omi ṣan.
2. Ètò inú-ìlànà:
A maa gbe sobusitireti naa lọ nigbagbogbo tabi ni ilọsiwaju nipasẹ yara ti a fi bo.
Gba laaye iṣelọpọ agbara giga ati ibora aṣọ ti awọn agbegbe nla.
A maa n lo lati fi bo awo gilasi, ṣiṣu tabi irin ninu ilana yiyi-si-yipo tabi fifẹ.
3. yàrá afẹ́fẹ́:
Ṣe abojuto ayika titẹ kekere ti a ṣakoso lati ṣe iranlọwọ fun sputtering.
- Ó ń dènà ìbàjẹ́, ó sì ń rí i dájú pé àwọn fíìmù tí a kó pamọ́ mọ́ tónítóní.
- A maa n pese awọn titiipa fifuye lati dinku ifihan si awọn ipo oju-aye lakoko gbigbe ati gbigbejade awọn ohun elo ilẹ.
4. Awọn agbara ibora opitika:
- A ṣe apẹrẹ pataki lati ṣe awọn ideri oju-ọrun gẹgẹbi awọn ideri ti ko ni afihan, awọn digi, awọn asẹ, ati awọn pipin ina.
- Gba laaye iṣakoso deede ti sisanra fiimu ati iṣọkan, eyiti o ṣe pataki fun awọn ohun elo opitika.
5. awọn eto iṣakoso ilana:
- Awọn eto abojuto ati esi ilọsiwaju fun iṣakoso awọn paramita bii agbara, titẹ ati iyara substrate.
- Àyẹ̀wò lórí ibi fún wíwọ̀n àwọn ohun ìní fíìmù nígbà tí a bá ń gbé e kalẹ̀ láti rí i dájú pé ó dára àti pé ó dúró ṣinṣin.
Awọn ohun elo:
1. Awọn ohun èlò ìrísí ojú:
- Lẹ́ńsì ìbòrí, dígí àti àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra mìíràn láti mú iṣẹ́ wọn sunwọ̀n síi.
- Ó ń ṣe àwọn ìbòrí onípele púpọ̀ fún àwọn àlẹ̀mọ́ ìdènà àti àwọn ẹ̀rọ opitika mìíràn tí ó díjú.
2. Ẹ̀rọ itanna:
- Awọn transistors fiimu tinrin, awọn sensọ ati awọn ẹrọ itanna miiran.
- Àwọn ìbòrí amúgbálẹ́gbẹ̀ẹ́ tí ó hàn gbangba fún àwọn ìbòjú àti àwọn ìbòjú ìfọwọ́kàn. 3.
3. awọn paneli oorun:
- Àwọn ìbòrí tí ó ń dènà àwọ̀ àti ìṣàkóṣo fún ìṣiṣẹ́ tó dára jù.
- Àwọn fẹlẹfẹlẹ tí a fi sínú àpò fún agbára ìdúróṣinṣin.
4. àwọn ohun ọ̀ṣọ́ tí a fi ṣe àwọ̀:
- Fífi àwọn ohun ọ̀ṣọ́, aago àti àwọn nǹkan míìrán bo ara wọn fún àwọn ìdí ẹwà.
Àwọn àǹfààní:
1. Pípéye Gíga:
- Ó ń pèsè àwọ̀ tó dọ́gba àti èyí tó ṣeé tún ṣe pẹ̀lú ìṣàkóso tó péye lórí sisanra àti ìṣọ̀kan. 2.
2. Ìwọ̀n tó gbòòrò:
- Ó yẹ fún ìwádìí kékeré àti iṣẹ́ àgbékalẹ̀ ilé iṣẹ́ ńlá. 3.
3. Ìrísí tó wọ́pọ̀:
- Ó ń kó onírúurú ohun èlò sílẹ̀, títí bí àwọn irin, oxides, nitrides àti àwọn èròjà oníṣọ̀kan.
4. Ìṣiṣẹ́ dáadáa:
- Awọn eto inu-ila gba laaye fun iṣiṣẹ nigbagbogbo, idinku akoko idinku ati mu iṣẹ ṣiṣe pọ si.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-29-2024