Sistem salutan vakum ialah teknologi yang digunakan untuk menggunakan filem nipis atau salutan pada permukaan dalam persekitaran vakum. Proses ini memastikan salutan berkualiti tinggi, seragam dan tahan lama, yang penting dalam pelbagai industri seperti elektronik, optik, automotif dan aeroangkasa. Terdapat pelbagai jenis sistem salutan vakum, masing-masing sesuai untuk aplikasi tertentu. Berikut ialah beberapa jenis utama:
Pemendapan Wap Fizikal (PVD): Proses ini melibatkan pemindahan fizikal bahan daripada sumber pepejal atau cecair ke substrat. Kaedah biasa termasuk:
Sputtering: Bahan dikeluarkan dari sasaran dan didepositkan pada substrat.
Penyejatan: Bahan dipanaskan sehingga ia menyejat dan kemudian terpeluwap pada substrat.
Pemendapan Wap Kimia (CVD): Proses ini melibatkan tindak balas kimia antara prekursor fasa wap dan permukaan substrat, membentuk filem pepejal. Varian termasuk:
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Menggunakan plasma untuk meningkatkan tindak balas kimia.
Metal-Organic CVD (MOCVD): Menggunakan sebatian logam-organik sebagai prekursor.
Pemendapan Lapisan Atom (ALD): Proses yang sangat terkawal yang memendapkan lapisan atom satu demi satu, memastikan ketebalan dan komposisi yang tepat.
Sputtering Magnetron: Sejenis PVD di mana medan magnet digunakan untuk mengurung plasma, meningkatkan kecekapan proses sputtering.
Pemendapan Rasuk Ion: Menggunakan rasuk ion untuk memercikkan bahan daripada sasaran dan mendepositkannya ke substrat.
Aplikasi:
Semikonduktor: Salutan untuk cip mikro dan komponen elektronik.
Optik: Salutan anti-reflektif, cermin dan kanta.
Automotif: Salutan untuk komponen enjin dan kemasan hiasan.
Aeroangkasa: Salutan penghalang haba dan lapisan pelindung.
Faedah:
Salutan Seragam: Mencapai ketebalan dan komposisi yang konsisten merentas substrat.
Lekatan Tinggi: Salutan melekat dengan baik pada substrat, meningkatkan ketahanan.
Ketulenan dan Kualiti: Persekitaran vakum mengurangkan pencemaran, menghasilkan salutan ketulenan tinggi.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Jul-09-2024