Pembuatan peranti filem nipis optik dijalankan dalam ruang vakum, dan pertumbuhan lapisan filem adalah proses mikroskopik. Walau bagaimanapun, pada masa ini, proses makroskopik yang boleh dikawal secara langsung adalah beberapa faktor makroskopik yang mempunyai hubungan tidak langsung dengan kualiti lapisan filem. Walaupun begitu, melalui penyelidikan eksperimen berterusan jangka panjang, orang ramai telah menemui hubungan tetap antara kualiti filem dan faktor makro ini, yang telah menjadi spesifikasi proses untuk membimbing pembuatan peranti perjalanan filem, dan memainkan peranan penting dalam pembuatan peranti filem nipis optik berkualiti tinggi.
1. Kesan penyaduran vakum
Pengaruh darjah vakum pada sifat filem adalah disebabkan oleh kehilangan tenaga dan tindak balas kimia yang disebabkan oleh perlanggaran fasa gas antara gas sisa dan atom dan molekul filem. Jika tahap vakum adalah rendah, kebarangkalian gabungan antara molekul wap bahan filem dan molekul gas yang tinggal meningkat, dan tenaga kinetik molekul wap sangat berkurangan, menjadikan molekul wap tidak dapat mencapai substrat, atau tidak dapat menembusi lapisan penjerapan gas pada substrat, atau hampir tidak dapat menembusi lapisan penjerapan gas tetapi tenaga penjerapan adalah substrat. kecil. Akibatnya, filem yang didepositkan oleh peranti filem nipis optik adalah longgar, ketumpatan pengumpulan rendah, kekuatan mekanikal adalah lemah, komposisi kimia tidak tulen, dan indeks biasan dan kekerasan lapisan filem adalah lemah.
Secara amnya, dengan peningkatan vakum, struktur filem bertambah baik, komposisi kimia menjadi tulen, tetapi tekanan meningkat. Semakin tinggi ketulenan filem logam dan filem semikonduktor, lebih baik, mereka bergantung pada tahap vakum, yang memerlukan lompang langsung yang lebih tinggi. Sifat utama filem yang dipengaruhi oleh darjah vakum ialah indeks biasan, serakan, kekuatan mekanikal dan tidak larut.
2. Pengaruh kadar pemendapan
Kadar pemendapan ialah parameter proses yang menerangkan kelajuan pemendapan filem, dinyatakan oleh ketebalan filem yang terbentuk pada permukaan penyaduran dalam masa unit, dan unitnya ialah nm·s-1.
Kadar pemendapan mempunyai pengaruh yang jelas terhadap indeks biasan, ketegasan, kekuatan mekanikal, lekatan dan tegasan filem. Jika kadar pemendapan rendah, kebanyakan molekul wap kembali dari substrat, pembentukan nukleus kristal adalah perlahan, dan pemeluwapan hanya boleh dilakukan pada agregat besar, dengan itu menjadikan struktur filem longgar. Dengan peningkatan kadar pemendapan, filem halus dan padat akan terbentuk, serakan cahaya akan berkurangan, dan ketegasan akan meningkat. Oleh itu, cara memilih kadar pemendapan filem dengan betul adalah isu penting dalam proses penyejatan, dan pemilihan khusus harus ditentukan mengikut bahan filem.
Terdapat dua kaedah untuk meningkatkan kadar pemendapan: (1) meningkatkan kaedah suhu sumber sejatan (2) meningkatkan kaedah kawasan punca sejatan.
Masa siaran: Mac-29-2024