Вакуум бүрэх систем нь вакуум орчинд нимгэн хальс эсвэл бүрээсийг гадаргуу дээр түрхэхэд ашигладаг технологи юм. Энэ процесс нь электроник, оптик, автомашин, сансар огторгуй зэрэг янз бүрийн салбарт чухал ач холбогдолтой өндөр чанартай, жигд, удаан эдэлгээтэй бүрхүүлийг баталгаажуулдаг. Өөр өөр төрлийн вакуум бүрэх системүүд байдаг бөгөөд тус бүр нь тодорхой хэрэглээнд тохирсон байдаг. Энд хэд хэдэн үндсэн төрлүүд байна:
Физик уурын хуримтлал (PVD): Энэ процесс нь материалыг хатуу эсвэл шингэн эх үүсвэрээс субстрат руу физик шилжүүлэх үйл явцыг хамардаг. Нийтлэг аргууд нь:
Цэврүүтэх: Материалыг байнаас гаргаж, субстрат дээр байрлуулна.
Ууршилт: Материалыг уурших хүртэл халааж, дараа нь субстрат дээр конденсацлана.
Химийн уурын хуримтлал (CVD): Энэ процесс нь уурын фазын прекурсор ба субстратын гадаргуугийн хооронд химийн урвал явагдаж, хатуу хальс үүсгэдэг. Хувилбарууд нь:
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Химийн урвалыг сайжруулахын тулд плазмыг ашигладаг.
Металл-Органик ЗСӨ (MOCVD): Металл-органик нэгдлүүдийг урьдал бодис болгон ашигладаг.
Atomic Layer Deposition (ALD): Атомын давхаргыг нэг нэгээр нь хуримтлуулж, нарийн зузаан, найрлагыг баталгаажуулдаг өндөр хяналттай процесс.
Магнетрон цацах: PVD-ийн төрөл бөгөөд соронзон орон нь плазмыг хязгаарлаж, цацах процессын үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.
Ion Beam Deposition: Ионы цацрагийг ашиглан объектоос материалыг цацаж, субстрат дээр байрлуулна.
Хэрэглээ:
Хагас дамжуулагч: Микрочип болон электрон эд ангиудын бүрээс.
Оптик: Цацруулагчийн эсрэг бүрээс, толь, линз.
Автомашин: Хөдөлгүүрийн эд ангиудын бүрээс, гоёл чимэглэлийн өнгөлгөө.
Сансар огторгуй: Дулаан тусгаарлагч бүрээс ба хамгаалалтын давхарга.
Ашиг тус:
Нэг төрлийн бүрээс: Субстрат дээр жигд зузаан, найрлагад хүрнэ.
Өндөр наалдац: Бүрхүүл нь субстрат дээр сайн наалдаж, бат бөх чанарыг нэмэгдүүлдэг.
Цэвэр байдал ба чанар: Вакуум орчин нь бохирдлыг бууруулж, өндөр цэвэршилттэй бүрээсийг бий болгодог.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 09-ний өдөр