Опремата за вакуумско обложување е вид технологија за нанесување на тенок филм во вакуумска средина, која е широко користена во електрониката, оптиката, науката за материјали, енергетиката и така натаму. Опремата за вакуумско обложување е главно составена од следниве делови:
Вакуумска комора: Ова е основниот дел од опремата за вакуумско премачкување, во која се извршуваат сите процеси на премачкување. Вакуумската комора мора да биде способна да издржи вакуумска средина и да одржува добро запечатување.
Вакуум пумпа: Се користи за извлекување на воздухот во вакуумската комора за да се создаде вакуумска средина. Вообичаените вакуум пумпи вклучуваат механички пумпи и молекуларни пумпи.
Извор на испарување: Се користи за загревање и испарување на материјалот за обложување. Изворот на испарување може да биде греење со отпор, греење со електронски зрак, ласерско греење и така натаму.
Рамка за нанесување (држач за подлога): се користи за поставување на подлогата што треба да се премачка. Држачот за подлога може да се ротира или поместува за да се обезбеди униформност на премазот.
Контролен систем: Се користи за контрола на целиот процес на обложување, вклучувајќи го стартувањето и запирањето на вакуум пумпата, контролата на температурата на изворот на испарување и прилагодувањето на брзината на таложење.
Опрема за мерење и следење: Се користи за следење на клучните параметри во процесот на обложување во реално време, како што се степен на вакуум, температура, брзина на таложење итн.
Систем за напојување: за обезбедување на потребната енергија за опремата за вакуумско обложување.
Систем за ладење: се користи за ладење на вакуумската комора и другите компоненти што генерираат топлина за да се обезбеди нормално функционирање на опремата.
Ефективната координација на овие компоненти ѝ овозможува на опремата за вакуумско обложување прецизно да ја контролира дебелината, составот и структурата на филмот за да ги задоволи различните индустриски и научни потреби.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 27 јули 2024 година