Vakuuma pārklāšanas sistēma ir tehnoloģija, ko izmanto, lai vakuuma vidē uzklātu plānu plēvi vai pārklājumu uz virsmas. Šis process nodrošina augstas kvalitātes, vienmērīgu un izturīgu pārklājumu, kas ir ļoti svarīgs dažādās nozarēs, piemēram, elektronikā, optikā, autobūves un kosmosa nozarē. Ir dažādi vakuuma pārklāšanas sistēmu veidi, katrs no tiem ir piemērots konkrētiem pielietojumiem. Šeit ir daži galvenie veidi:
Fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD): Šis process ietver materiāla fizisku pārnesi no cieta vai šķidra avota uz substrātu. Izplatītākās metodes ir:
Izsmidzināšana: materiāls tiek izmests no mērķa un nogulsnēts uz pamatnes.
Iztvaikošana: Materiāls tiek karsēts, līdz tas iztvaiko, un pēc tam kondensējas uz substrāta.
Ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD): Šis process ietver ķīmisku reakciju starp tvaika fāzes prekursoru un substrāta virsmu, veidojot cietu plēvi. Varianti ietver:
Ar plazmu pastiprināta CVD (PECVD): Izmanto plazmu, lai pastiprinātu ķīmiskās reakcijas.
Metālorganiskā CVD (MOCVD): Kā prekursorus izmanto metālorganiskos savienojumus.
Atomu slāņu uzklāšana (ALD): Augsti kontrolēts process, kurā atomu slāņi tiek uzklāti pa vienam, nodrošinot precīzu biezumu un sastāvu.
Magnetrona izsmidzināšana: PVD veids, kurā plazmas ierobežošanai tiek izmantoti magnētiskie lauki, tādējādi palielinot izsmidzināšanas procesa efektivitāti.
Jonu kūļa nogulsnēšanās: izmanto jonu kūļus, lai izsmidzināšanas procesā no mērķa uzklātu materiālu un nogulsnētu to uz substrāta.
Lietojumi:
Pusvadītāji: pārklājumi mikroshēmām un elektroniskajām komponentēm.
Optika: pretatstarojoši pārklājumi, spoguļi un lēcas.
Automobiļi: Dzinēju detaļu pārklājumi un dekoratīvā apdare.
Aviācija un kosmoss: Termiskās barjeras pārklājumi un aizsargslāņi.
Ieguvumi:
Vienmērīgi pārklājumi: Nodrošina vienmērīgu biezumu un sastāvu visā pamatnē.
Augsta saķere: Pārklājumi labi pielīp pie pamatnes, uzlabojot izturību.
Tīrība un kvalitāte: Vakuuma vide samazina piesārņojumu, kā rezultātā tiek iegūti augstas tīrības pakāpes pārklājumi.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 9. jūlijs