Įranga integruoja magnetroninio purškimo ir varžinio garinimo technologijas ir suteikia sprendimą įvairių pagrindų dengimui.
Eksperimentinė dengimo įranga daugiausia naudojama universitetuose ir mokslinių tyrimų įstaigose ir gali atitikti įvairius eksperimentinius reikalavimus. Įrangai skirti įvairūs konstrukciniai taikiniai, kuriuos galima lanksčiai konfigūruoti, kad atitiktų mokslinių tyrimų ir plėtros poreikius įvairiose srityse. Galima pasirinkti magnetroninio purškimo sistemą, katodinio lanko sistemą, elektronų pluošto garinimo sistemą, varžinio garinimo sistemą, CVD, PECVD, jonų šaltinį, poslinkio sistemą, šildymo sistemą, trimatį tvirtinimą ir kt. Klientai gali rinktis pagal savo skirtingus poreikius.
Įranga pasižymi gražia išvaizda, kompaktiška konstrukcija, mažu grindų plotu, aukštu automatizavimo laipsniu, paprastu ir lanksčiu veikimu, stabiliu veikimu ir lengva priežiūra.
Įranga gali būti naudojama plastikui, nerūdijančiam plienui, galvanizuotoms detalėms / plastikinėms detalėms, stiklui, keramikai ir kitoms medžiagoms apdirbti. Galima paruošti paprastus metalo sluoksnius, tokius kaip titanas, chromas, sidabras, varis, aliuminis, arba metalo junginių plėveles, tokias kaip TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500 * A600 (mm) | φ600 * A800 (mm) | φ800 * H1000 (mm) |