ລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ໃຊ້ເພື່ອນໍາໃຊ້ແຜ່ນບາງໆຫຼືການເຄືອບໃສ່ພື້ນຜິວໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ. ຂະບວນການນີ້ຮັບປະກັນການເຄືອບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ເປັນເອກະພາບ, ແລະທົນທານ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເອເລັກໂຕຣນິກ, optics, ຍານຍົນ, ແລະອາວະກາດ. ມີລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແຕ່ລະທີ່ເຫມາະສົມກັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສະເພາະ. ນີ້ແມ່ນບາງປະເພດຫຼັກ:
ທາດອາຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ (PVD): ຂະບວນການນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຖ່າຍທອດວັດຖຸດິບຈາກແຫຼ່ງແຂງ ຫຼືຂອງແຫຼວໄປສູ່ຊັ້ນໃຕ້ດິນ. ວິທີການທົ່ວໄປປະກອບມີ:
Sputtering: ວັດສະດຸຖືກຂັບໄລ່ອອກຈາກເປົ້າຫມາຍແລະຝາກໄວ້ໃນ substrate ໄດ້.
ການລະເຫີຍ: ວັດສະດຸຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຈົນກ່ວາມັນ evaporates ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ condenses ສຸດ substrate ໄດ້.
ການຊຶມເສົ້າຂອງອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD): ຂະບວນການນີ້ປະກອບດ້ວຍປະຕິກິລິຍາເຄມີລະຫວ່າງຄາຣະວາຂອງໄລຍະໄອ ແລະ ພື້ນຜິວຍ່ອຍ, ປະກອບເປັນຟິມແຂງ. ຕົວແປລວມມີ:
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): ໃຊ້ plasma ເພື່ອເພີ່ມປະຕິກິລິຍາເຄມີ.
Metal-Organic CVD (MOCVD): ໃຊ້ທາດປະສົມໂລຫະ-ອິນຊີເປັນຄາຣະວາ.
Atomic Layer Deposition (ALD): ຂະບວນການຄວບຄຸມສູງທີ່ຝາກຊັ້ນປະລໍາມະນູໄວ້ເທື່ອລະອັນ, ຮັບປະກັນຄວາມຫນາ ແລະອົງປະກອບທີ່ຊັດເຈນ.
Magnetron Sputtering: ປະເພດຂອງ PVD ທີ່ສະຫນາມແມ່ເຫຼັກຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຈໍາກັດ plasma, ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ sputtering.
Ion Beam Deposition: ໃຊ້ ion beams ເພື່ອ sputter ວັດສະດຸຈາກເປົ້າຫມາຍແລະຝາກມັນໃສ່ substrate.
ແອັບພລິເຄຊັນ:
Semiconductors: ການເຄືອບສໍາລັບ microchips ແລະອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກ.
Optics: ເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນແສງ, ກະຈົກ, ແລະເລນ.
ຍານຍົນ: ການເຄືອບສໍາລັບອົງປະກອບຂອງເຄື່ອງຈັກແລະການສໍາເລັດຮູບຕົກແຕ່ງ.
ຍານອາວະກາດ: ການເຄືອບປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນ ແລະຊັ້ນປ້ອງກັນ.
ຜົນປະໂຫຍດ:
ການເຄືອບເອກະພາບ: ບັນລຸຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະອົງປະກອບທີ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວ substrate.
ການຍຶດຕິດສູງ: ການເຄືອບຕິດກັບຊັ້ນໃຕ້ດິນໄດ້ດີ, ເພີ່ມຄວາມທົນທານ.
ຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບ: ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ, ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-09-2024
