Вакуумдук каптоо системасы – бул вакуумдук чөйрөдө бетке жука пленканы же жабууну колдонуу үчүн колдонулган технология. Бул процесс электроника, оптика, автомобиль жана аэрокосмостук сыяктуу ар кандай тармактарда өтө маанилүү болгон жогорку сапаттагы, бирдей жана бышык жабууну камсыз кылат. Вакуумдук каптоо системаларынын ар кандай түрлөрү бар, алардын ар бири белгилүү бир колдонуу үчүн ылайыктуу. Бул жерде бир нече негизги түрлөрү бар:
Physical Vapor Deposition (PVD): Бул процесс материалды катуу же суюк булактан субстратка физикалык которууну камтыйт. Жалпы ыкмалары төмөнкүлөрдү камтыйт:
Чачыратуу: Материал бутага чыгарылып, субстраттын үстүнө коюлат.
Буулануу: Материал бууланганга чейин ысытылат, андан кийин субстратта конденсацияланат.
Химиялык бууларды жайгаштыруу (CVD): Бул процесс буу фазасынын прекурсору менен субстрат бетинин ортосундагы химиялык реакцияны камтыйт, катуу пленканы түзөт. Варианттарга төмөнкүлөр кирет:
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Химиялык реакцияларды күчөтүү үчүн плазманы колдонот.
Металл-органикалык CVD (MOCVD): прекурсорлор катары металл-органикалык кошулмаларды колдонот.
Atomic Layer Deposition (ALD): Атомдук катмарларды бирден коюп, так калыңдыгын жана курамын камсыз кылган жогорку көзөмөлдөнгөн процесс.
Магнетрондук чачыратуу: PVD түрү, анда магнит талаасы плазманы чектөө үчүн колдонулат, бул чачыратуу процессинин натыйжалуулугун жогорулатат.
Ion Beam Deposition: Бутадан материалды чачыратуу жана аны субстратка салуу үчүн иондук нурларды колдонот.
Тиркемелер:
Жарым өткөргүчтөр: микрочиптер жана электрондук компоненттер үчүн каптамалар.
Оптика: Чагылууга каршы жабуулар, күзгүлөр жана линзалар.
Автоунаа: кыймылдаткычтын тетиктерин жабуу жана жасалгалоо.
Аэрокосмостук: Жылуулук тосмо катмарлары жана коргоочу катмарлар.
Артыкчылыктары:
Бирдиктүү каптоо: субстрат боюнча ырааттуу жоондугуна жана курамына жетет.
Жогорку адгезия: Каптамалар субстратка жакшы жабышып, туруктуулукту жогорулатат.
Тазалык жана сапат: Вакуумдук чөйрө булганууну азайтат, натыйжада жогорку тазалыктагы жабуулар пайда болот.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 2024-09-09