Çêkirina cîhazên fîlma tenik a optîkî di odeyeke valahiyê de tê kirin, û mezinbûna qata fîlmê pêvajoyek mîkroskopîk e. Lêbelê, niha, pêvajoyên makroskopîk ên ku dikarin rasterast werin kontrol kirin hin faktorên makroskopîk in ku têkiliyek nerasterast bi kalîteya qata fîlmê re hene. Dîsa jî, bi lêkolînên ceribandinî yên demdirêj û domdar, mirovan têkiliyek birêkûpêk di navbera kalîteya fîlmê û van faktorên makro de dîtine, ku bûye taybetmendiyek pêvajoyê ji bo rêberiya çêkirina cîhazên rêwîtiya fîlmê, û roleke girîng di çêkirina cîhazên fîlma tenik a optîkî ya bi kalîte bilind de dilîze.
1. Bandora plakaya valahiyê
Bandora pileya valahiyê li ser taybetmendiyên fîlmê ji ber windabûna enerjiyê û reaksiyona kîmyewî ya ji ber pevçûna qonaxa gazê di navbera gaza mayî û atom û molekulên fîlmê de çêdibe ye. Ger pileya valahiyê kêm be, îhtîmala hevgirtina di navbera molekulên buharê yên materyalê fîlmê û molekulên gazê yên mayî de zêde dibe, û enerjiya kînetîk a molekulên buharê pir kêm dibe, dibe sedema ku molekulên buharê nikaribin bigihîjin substratê, an jî nikaribin ji qata adsorpsiyona gazê ya li ser substratê derbas bibin, an jî bi zorê dikarin ji qata adsorpsiyona gazê derbas bibin lê enerjiya adsorpsiyonê bi substratê re pir piçûk e. Di encamê de, fîlma ku ji hêla cîhazên fîlma tenik a optîkî ve tê rijandin sist e, dendika kombûnê kêm e, hêza mekanîkî xirab e, pêkhateya kîmyewî ne paqij e, û endeksa şikestinê û hişkbûna qata fîlmê xirab e.
Bi gelemperî, bi zêdebûna valahiyê re, avahiya fîlmê çêtir dibe, pêkhateya kîmyewî paqij dibe, lê stres zêde dibe. Paqijiya fîlma metal û fîlma nîvconductor çiqas bilindtir be, ew qas çêtir e, ew bi pileya valahiyê ve girêdayî ne, ku valahiyek rasterast a bilindtir hewce dike. Taybetmendiyên sereke yên fîlmên ku ji hêla pileya valahiyê ve bandor dibin endeksa şikestinê, belavbûn, hêza mekanîkî û neçareserbûn in.
2. Bandora rêjeya danînê
Rêjeya danînê parametreyek pêvajoyê ye ku leza danîna fîlmê vedibêje, ku bi qalindahiya fîlmê ku li ser rûyê plakayê di yekîneya demê de çêdibe tê îfadekirin, û yekîne nm·s-1 e.
Rêjeya danîna madeyê bandorek eşkere li ser rêjeya şikestinê, hişkbûn, hêza mekanîkî, girêdan û stresa fîlmê dike. Ger rêjeya danîna madeyê kêm be, piraniya molekulên buharê ji substratê vedigerin, çêbûna navokên krîstal hêdî ye, û kondensasyon tenê li ser kombûnên mezin dikare were kirin, bi vî rengî avahiya fîlmê sist dibe. Bi zêdebûna rêjeya danîna madeyê re, fîlmek zirav û zirav çêdibe, belavbûna ronahiyê kêm dibe, û hişkbûn zêde dibe. Ji ber vê yekê, ka meriv çawa rêjeya danîna fîlmê bi rêkûpêk hildibijêre di pêvajoya buharbûnê de mijarek girîng e, û hilbijartina taybetî divê li gorî materyalê fîlmê were destnîşankirin.
Ji bo baştirkirina rêjeya danîna rûberê du rêbaz hene: (1) rêbaza zêdekirina germahiya çavkaniya buharbûnê (2) rêbaza zêdekirina qada çavkaniya buharbûnê.
Dema weşandinê: 29ê Adarê, 2024